| 참조번호 | 품목분류2과-592 |
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| 시행일자 | 2014-01-23 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | PELLICLE FRAME; BP9A54; 9-BP 196*196*3.20; R.KOREA |
| 물품설명 |
가로 196㎜, 세로 196㎜ 크기의 모서리가 둥글게 처리된 정사각형 형상의 알루미늄제 프레임(높이 3.2㎜)
- 용도 : 반도체 노광공정에서 반도체에 회로모형을 드로잉하는 기기에 장착되어 마스크를 보호하기 위하여 사용되는 pellicle의 프레임 |
| 결정사유 |
- 본건 물품은 반도체 제조공정 중 노광공정 상 발생하는 가스, 분진 등 기타 이물질로부터 포토마스크를 보호하기 위하여 사용되는 pellicle의 프레임부를 형성하는 물품임.
- Pellicle은 반도체 제조공정에서 포토마스크 또는 레티클과 결합하여 사용되는 물품으로서 포토마스크나 레티클이 먼지 등에 오염되지 않도록 보호하는 기능과 함께 파티클 등으로 인하여 마스크 상의 패턴이 왜곡되지 않도록 해주는 기능을 수행하는 물품으로 이러한 pellicle은 반도체 제조용 기계의 부속품에 해당함. - 관세율표 제8486호에는 “반도체 제조용 기계의 부분품과 부속품”이 분류되며, 본건 물품은 pellicle의 기능과 형상을 완성하기 위한 핵심적인 부분에 해당하므로 감광성 반도체 재료에 회로모형을 투영 또는 드로잉하는 기기의 부속품으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 의하여 “제8486.90-2010호”에 분류함. |
| 이미지건수 | 1 |
| 관련 이미지 |
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