| 참조번호 | 품목분류2과-5777 |
|---|---|
| 시행일자 | 2013-08-06 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8424.89-9000 |
| 품명 | RSP cleaning system ; M300 |
| 물품설명 |
- 본품은 Reticle SMIF Pod(RSP)를 세척하여 RSP에 잔류하고 있는 유기물 및 기타 오염물을 제거하는 기능을 가진 물품으로서,
- 장비 Insert부에 RSP를 분해, 고정하고, 고정된 Insert를 회전시키면서 DI Water를 분사하여 RSP 표면에 잔류하고 있는 오염물을 제거함. 오염물 제거 후 적절한 열기, 원심력, N2(질소) Blowing을 이용하여 물기를 제거함 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제8424호에는 “제8424호 액체나 가루의 분사용·살포용·분무용 기기(수동식인지에 상관없다), 소화기(소화제를 충전한 것인지에 상관없다), 스프레이건과 이와 유사한 기기, 증기나 모래의 분사기와 이와 유사한 제트분사기”가 분류되고,
- 동호 해설서에서 “이 호에는 분사·살포(drip식인지의 여부를 불문한다) 또는 분무의 형태로 증기·액체 또는 고체의 물질(예: 모래·분말·입·조사 또는 금속연마재)을 분사하거나 살포 또는 분무하기 위한 기기를 포함한다.”라고 설명하고 있음 - 본품은 마스크 운송용기에 해당하는 SMIF(Standard Mechanical Interface) Pod에 Spray 노즐로 초순수를 Pod 내부에 분사하여 오염물질을 세척하고 IR램프 및 질소가스를 분사하여 건조기능 등을 수행하는 설비로, 대상재료가 마스크를 대상으로 제조하거나 수리하는 기기가 아니라 마스크의 용기인 SMIF Pod를 대상으로 초순수를 분사하여 세정하는 기기이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호의 규정에 의거 제8424.89-9000호에 분류함 |
| 이미지건수 | 0 |
| 관련 이미지 |