| 참조번호 | 품목분류2과-3420 |
|---|---|
| 시행일자 | 2013-05-14 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Semiconductor manufacturing part ; SIP INNER SHILD for wafer PVD chamber |
| 물품설명 | 위로 갈수록 넓어지는 원통모양으로 wafer PVD chamber 내부에 조립되어 증착공정 중 wafer를 제외한 chamber 내부 오염을 방지하는 역할 |
| 결정사유 |
- 관세율표 제8486호에는 반도체 보울(boule)이나 웨이퍼(wafer)·반도체디바이스·전자집적회로·평판디스플레이의 제조에 전용되거나 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기, 그 부분품과 부속품”이 분류됨
- 동 호 해설서에서“.... 반도체 디바이스 또는 전자집적회로를 제조하기 위한 기계 및 기기가 분류된다. 예를 들면, (1) 막 형성 장비 : 이 장비는 웨이퍼 가공 공정에서 웨이퍼 표면에 여러 가지 막을 형성한다. .... (c) 물리기상증착(PVD) 장비 : 어떠한 고체를 기화시킴으로써 얻어지는 다양한 형태의 막을 증착시킨다. .... 부분품의 분류에 관한 일반규정(제16부 총설 참조)에 의하여, 이 호에는 이 호에 분류되는 기계 및 기기의 부분품과 부속품을 포함한다.”라고 설명하고 있음 - 본 품은 wafer PVD chamber 내부에 조립되어 증착공정 중 wafer를 제외한 chamber 내부 오염을 방지해 주는 물품으로 “반도체웨이퍼상에 금속을 증착하는 기계에 전용 또는 주로 사용되는 부분품”으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의거 제8486.90-2010호에 분류함 |
| 이미지건수 | 0 |
| 관련 이미지 |