| 참조번호 | 품목분류2과-3093 |
|---|---|
| 시행일자 | 2013-05-03 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Parts for Wafer PVD Chamber ; HEAD SHOWER ; R.KOREA |
| 물품설명 |
- 티타늄 재질에 일정 사이즈의 Hole이 균일하게 가공되어 있는 원형의 물품으로, 반도체 제조설비 중 웨이퍼 위에 Cu, Ta 박막을 증착하기 위한 PVD[Physical Vapour Deposition]공정에 사용하는 장비의 Wafer PVD Chamber 내부에 조립됨
- 신청물품 - 크기 : ？455mm*T26.9mm - 제조공정 : 자재입고(티타늄)→선반공정→머시닝→와이어→사상→후처리→포장→출고 - 용도 : chamber 내에 유입된 금속입자들이 균일하게 웨이퍼에 분사되기 위함 |
| 결정사유 |
- 본품은 반도체 제조설비 중 웨이퍼 위에 Cu, Ta 박막을 증착하기 위해 Wafer PVD Chamber 내부에 조립되어, Chamber 내에 유입된 금속입자들이 균일하게 웨이퍼에 분사되도록 하는 물품임
- 관세율표 제8486호에는 "반도체 보울 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품"이 분류되고 제8486.90호에는 반도체 디바이스 또는 전자집적회로 제조용 기계와 기기의 부분품 및 부속품이 분류됨 - 따라서 본품은 반도체 PVD[Physical Vapour Deposition]공정에 사용하는 장비의 Wafer PVD Chamber 내부에 조립되어 Gas를 균일하게 공급 역할을 수행하는 물품으로서 “반도체웨이퍼상에 금속을 증착하는 기계에 전용 또는 주로 사용되는 부분품”으로 보아 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의하여 제8486.90-2010호에 분류함 |
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