| 참조번호 | 품목분류1과-339 |
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| 시행일자 | 2013-02-19 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | ㅇ9030.82-0000 |
| 품명 | ㅇSemiconductor Test System(VERIGY HP93000 SOC PS800) |
| 물품설명 |
ㅇ반도체 디바이스에 전기적 신호를 주어 반도체 디바이스의 전기적 특성을 테스트하여 제품의 양·불량을 검사하는 장비
ㅇ물품 이미지 ㅇ구성요소 및 기능 -Main Frame : Tester의 Body부분으로 Hardware(Test에 필요한 각종 보드)와 OS 및 Test Program개발을 위한 Software로 구성 -Tester Head : Wafer 및 Package상태의 제품에 전기적신호를 인가할 수 있도록 도와주는 장치 -Pattern Generator : 설비 내부에 장착되어 Device에 인가할 신호를 생성하는 장치 -Power Supply : 설비 본체에서 사용할 전원을 공급하는 장치 -Support Rack : 메인전원을 받아 Test Head에 공급되는 DC전원을 관리 -Manipulator : Test Head를 쉽게 움직일 수 있도록 무게추를 사용하여 발란스를 맞춤 -Cooling Unit : Test Head, Support Rack에 냉각수를 공급하여 장비가 과열되지 않도록 유지 ㅇ측정항목 -O/S test : 반도체 디바이스의 내부 wire 간의 open, short 점검 -DC test : 반도체 디바이스의 직류 전압, 전류의 크기 및 상한, 하한값을 측정 -AC test : 반도체 디바이스의 교류 신호 크기 및 주파수, 노이즈 값을 측정 -Functional test : 반도체 디바이스의 기본 기능의 동작을 점검 |
| 결정사유 |
ㅇ관세율표 제9030호에는 ‘오실로스코우프ㆍ스펙트럼분석기와 기타 전기적 양의 측정 또는 검사용의 기기(제9028호의 것을 제외한다) 및 알파선ㆍ베타선ㆍ감마선ㆍ엑스선ㆍ우주선 또는 기타 전리선의 검사 또는 검출용의 기기’가 분류되며, 제9030.82호에는 ‘반도체웨이퍼 또는 소자의 측정 또는 검사용의 것’이 분류됨.
-관세율표 제9030호 해설서에서는 ‘전기량측정의 주요한 형으로는 다음의 것이 있다. (Ⅰ)전류의 측정, (Ⅱ)전압의 측정, (Ⅲ)저항 및 전도율의 측정, (?)재료의 전기적 특성 및 자기적 특성의 측정’ 등을 예시하고 있음. -본 건 물품은 FAB라인에서 생산된 반도체 디바이스의 전기적 특성을 측정하는 기기에 해당하므로 관세율표 해석에 관한 통칙 1(제9030호의 용어) 및 6호에 의거 제9030.82-0000호에 분류함. |
| 이미지건수 | 1 |
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