| 참조번호 | 품목분류2과-200 |
|---|---|
| 시행일자 | 2013-01-10 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-2010 |
| 품명 | Semiconductor manufacturing part ; Aluminum plate for VUB4060VR_N364255 |
| 물품설명 |
모서리가 둥근 알루미늄 bar 상의 물품으로 전면부에 테두리 홈이 있으며, 후면부에 기기 작동부에 장착하기 위한 홀 등이 가공되어 있고 시리얼 넘버 및 품번이 각인되어 있음
- 용도 · 반도체 제조용 기기인 CVD의 transfer chamber 내부에 장착되어 진공환경 유지 및 이물질 유입을 막아주고 wafer가 각 chamber로 이동시에 gate 역할을 하는 ULTIC ARMOR BONDED SEAL의 알루미늄 플레이트로 최종 제품 번호(bonded seal의 제품번호와 동일)가 각인되어 있음(전면부 테두리 홈에 polymer 재료 결합하면 완성품인 seal이 됨) · 신청인 제시자료에 의하면, 본 품은 특정 반도체 생산장비의 특정valve용으로 설계되어 후면부의 장착 홈 및 홀의 위치가 seal과 동일하며 규격 및 형상 등 본 품 자체가 seal의 기능 발휘에 결정적인 요소임 |
| 결정사유 |
- 본 품은 기기 작동부에 체결하기 위한 장착 홈 및 홀 등이 가공되어 있고 모서리가 둥근 바 상의 물품으로 반도체 제조장비 중 CVD에 장착되는 BONDED SEAL의 알루미늄 플레이트임
- BONDED SEAL은 특정 반도체 제조장비에 맞게 규격 및 형상가공되어 있고, CVD의 transfer chamber 내부에 장착되어 wafer가 이동하거나 chamber를 진공으로 만들어주는 gate로 반도체 제조용 기계의 부분품임 - 관세율표 제8486호에는“반도체 보울 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품”이 분류되고, - 동 호 해설서에“이 호에 분류되는 부분품과 부속품에는 특히, 이 호의 기계 및 기기에 전용 또는 주로 사용되는 툴홀더 및 기타 특수 부착물 등이 포함된다”라고 설명하고 있으며, 관세율표 제16부 총설에서“기계류 부분품은 이들이 바로 사용할 수 있도록 완성가공된 것인지의 여부를 불문하고 이 부에 분류된다.”라고 설명하고 있음 - 본 품은 특정 반도체 제조용 장비에 맞게 장착 홈 및 홀 등이 가공되어 있고 CVD(Chemical Vapor Deposition)공정용 장비의 gate 역할을 하는데 기능 및 형상을 구성하는 필수적인 부분이므로 관세율표 해석에 관한 통칙 제1호 및 6호에 의거 제8486.90-2010호에 분류함 |
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