| 참조번호 | 품목분류2과-7024 |
|---|---|
| 시행일자 | 2012-09-17 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 7020.00-1019 |
| 품명 | Other articles of glass for industrial; SHOWER PLATE; 377MM×5MM; JAPAN |
| 물품설명 |
- 기능 및 역할
반도체 제조장비인 플라즈마 건식 식각기에 사용되는 물품으로서 본 제품 표면에 형성된 작은 구멍을 통해 플라즈마 가스를 웨이퍼에 고르게 방출하여 식각이 잘 이루어질 수 있도록 하는 반원형의 소모성 물품 - 가공방법 용융석영 입고(fused quartz) → 연마(두께 가공) → 외경가공, 내부 hole 가공 → 열처리 → cleaning(세정) → 경면연마 → cleaning(세정) |
| 결정사유 |
- 본 물품은 용융석영(fused quartz)을 연마, 가공, 열처리 등의 가공과정을 거쳐 완성되는 물품으로서, 반도체 제조장비인 플라즈마건식식각기 내부에 장착되어 표면에 형성된 작은 구멍을 통해 플라즈마 가스를 웨이퍼에 고르게 방출하여 식각이 잘 이루어질 수 있도록 하는 소모성 물품임
- 관세율표 제84류 주1호 다목에서 “유리제의 공업용 기기 또는 기타의 물품과 그 부분품(제7019호 또는 제7020호)”은 제84류에서 제외하도록 규정하고 있으므로 본 물품의 관세율표 제7020호 분류 여부를 검토하여 보면, - 관세율표 제70류 주5호에서 “이 표에서 유리에는 석영유리를 포함한다.”라고 규정하며, 동 해설서 총설에서 “이 류주 제5호의 “유리”에는 용융석영 또는 기타의 용융실리카를 포함한다.“라고 설명하고 있음 - 관세율표 제7020호에는 “유리제의 기타 제품”을 분류하도록 규정하고 있으며, 동 호 해설서에서 “이 호에는 이 류의 다른 호 또는 이 표의 다른 류에 분류되지 아니하는 유리제품(유리제부분품을 포함한다)이 분류된다.”라고 설명하고 있음 - 따라서, 본 물품은 반도체 제조장비인 플라즈마건식식각기 내부에 장착되어 표면에 형성된 작은 구멍을 통해 플라즈마 가스를 웨이퍼에 고르게 방출하여 식각이 잘 이루어질 수 있도록 하는 공업용의 석영유리제 물품으로서 관세율표의 해석에 관한 통칙 제1호 및 제6호에 의하여 제7020.00-1019호에 분류함 |
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