| 참조번호 | 품목분류1과-561 |
|---|---|
| 시행일자 | 2012-03-05 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | ㅇ제9031.90-9011호 |
| 품명 |
ㅇPassive Isolation Unit(P2B-100)
- Isolator : 165×165×184(mm) 4개 - Oil Damper : 130×150×184(mm) 4개 |
| 물품설명 |
ㅇ물품 개요
-반도체 웨이퍼의 불량, 결함을 검사하고 분류하는 ARS(Auto Review Station) 장비에 장착되는 것으로서 반도체 웨이퍼를 검사시에 웨이퍼를 이송하는 stage의 진동을 감쇄하는 장비 ㅇ물품 이미지 ㅇ구성요소 및 기능 -Isolator : Air를 이용하여 주변환경의 진동 및 상부의 하중에 따라 높이 및 진동수 감쇄하는 기능을 가지며, 공기배관과 밸브를 통해 공기의 흡입 또는 배출을 시킴으로써 동 기능을 수행 -Oil Damper : 진동수의 높이의 급속한 변화를 Oil에 의해 변화량을 감소시키는 기능을 수행하며, Isolator의 기능을 보조하는 역할 -전체장비의 구성은 Isolator A unit 2개, B unit 1개, C unit 1개 및 Oil Damper 4개로 구성됨 ㅇ사용 목적 -반도체 웨이퍼의 결함을 검사하는 장비의 고배율렌즈(약 150배) 사용시 주변환경의 영향으로 진동과 충격이 발생하여 웨이퍼를 보고 있는 화면이 떨리는 현상을 방지하기 위해 고유 진동수(수평) 0.8~1.0(Hz) 이하수준으로 진동제어가 가능한 본 건 물품을 사용하며, 반도체 검사장비 특성상 반드시 필요한 장비임(신청인 제출자료) ㅇ전체 장비와의 장착이미지 ㅇ장비 작동순서 -반도체 Wafer 설비안착 → Wafer를 Robot으로 이송(Aligner) → Aligner 방향 결정 → Wafer를 Robot으로 이송(Stage) → Stage 광학계 위치로 이송 → Isolator, Oil Damper 동작(진동감쇄) → 현미경검사 → Wafer를 Robot으로 배출 → 작업완료 |
| 결정사유 |
ㅇ기계의 부분품과 관련하여 관세율표 제16부 주2(가)에서는 ‘제84류 또는 제85류 중 어느 특정한 호(제8409호·제8431호·제8448호·제8466호·제8473호·제8487호·제8503호·제8522호·제8529호·제8538호 또는 제8548호를 제외한다)에 포함되는 물품인 부분품은 각 해당 호에 분류한다.’고 규정하고 있는 바,
-제84류에서 분류가능한 제8479호에는 ‘이 류의 다른 곳에 열거되지 아니하거나 포함되지 아니한 기계류(고유의 기능을 가진 것에 한한다)’가 분류되며, 동 호 해설서에서는 ‘(B) 다른 기계 혹은 기기에 부착하거나 또는 복합기계 중에 결합된 경우에 한하여 그 기능이 수행될 수 있는 것으로서 다른 기계·기기 또는 복합기계의 조작상 필수불가결의 부분으로 작용하지 아니하는 것’을 해설하고 있음. -본 건 물품은 반도체 웨이퍼의 결함을 광학적으로 검사하는 기기에 장착되어 웨이퍼를 검사대(Stage)에 이송시 발생하는 진동을 미세한 수준으로 감쇄시켜주는 기능을 가진 것으로 진동을 감지하는 센서와 진동을 자동으로 제어하는 장치 등은 별도로 장착되어 있지 아니하며, 진동이 발생하면 공기와 오일을 이용하여 기계적인 방식으로 진동을 감쇄시켜주는 기기로, -고배율의 렌즈를 사용하는 반도체 웨이퍼 검사장비의 특성상 미세한 진동을 감쇄시켜주는 기능은 검사목적상 필수불가결한 것으로 볼 수 있으며, 제8479호 해설서에서도 ‘기계식 또는 액압식의 완충기(shock absorber)는 부착될 기계 또는 기기의 필요불가결한 부분을 구성하는 것이므로 단독으로 제시된 완충기는 부착되어야 할 기계 또는 기기의 부분품으로서 분류함’을 해설하고 있으므로 본 건 물품을 제8479호에 분류할 수 없음. -제16부 주1에서는 제90류의 물품을 제외토록 규정하고 있으며, 제90류 주2(나)에서는 ‘특정한 기기 또는 동일한 호에 해당하는 여러 종류의 기기(제9010호·제9013호 또는 제9031호의 기기를 포함한다)에 전용 또는 주로 사용되는 것은 해당 기기와 함께 분류’함을 규정하고 있으며, -관세율표 제9031호에는 ‘기타의 측정 또는 검사용의 기기’가 분류되며, 제9031.41호에는 기타 광학식의 반도체 웨이퍼 검사기기가 분류되는 바, 본 건 물품이 장착되는 ARS(Auto Review Station)장비는 동 소호에 분류가능하며, 본 건 물품은 제9031.41호의 기기에 전용 또는 주로 사용되는 것으로 볼 수 있음. -따라서 본 건 물품은 기타 광학식의 반도체 웨이퍼 검사기기의 부분품으로 보아 관세율표 해석에 관한 통칙 1(제90류 주2나) 및 6에 의거 제9031.90-9011호에 분류함. |
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