| 참조번호 | 품목분류2과-3728 |
|---|---|
| 시행일자 | 2011-09-16 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8543.70-9090 |
| 품명 | Ozone Generator ; OG-5000-B Generator |
| 물품설명 |
ㅇ 물품개요
- 고순도, 고농도의 오존발생기 - 다양한 분야의 반도체 공정에 사용하기 적합한 매우 청결하고 순도가 높은 오존을 생성하는 기기 ㅇ 작동원리 - 산소 분자를 두 개의 전극 사이에서 형성된 고강도의 전기장에 여기시킴으로써 오존이 발생함 ㅇ 적용범위 - 여러 단계의 반도체 제조공정에 적용 가능(CVD, ALD, Oxide growth, Wet Processing, Particle cleaning, 감광제 제거, Epitaxy 공정 등) |
| 결정사유 |
ㅇ 본건 물품은 고순도, 고농도의 오존발생기로 일반 산업용보다는 주로 여러 단계의 반도체 공정에 사용하기 적합한 매우 청결하고 순도가 높은 오존을 생성하는 기기임.
ㅇ 관세율표 제8486호에는 반도체 디바이스 등의 제조용 기계가 분류되나, 이 호의 목적상 반도체 보울 또는 디바이스의 제조용의 기계라 함은 반도체 재료를 기반으로 잉곳 또는 웨이퍼를 제조(단결성 성장 및 웨이퍼 절단 등)하거나, 반도체 웨이퍼를 기반으로 반도체 디바이스를 제조하는 일련의 공정(막 형성, 도핑, 식각 및 회로패턴 형성 등)을 수행하는 기계를 의미하며, 그밖의 부수적이고 보조적인 기능(초순수 또는 오존수의 준비, 오존 발생, 고전압의 전원공급, 여과 또는 청정 등)을 수행하는 모든 기계와 기기를 포함하는 것으로는 볼 수 없음. ㅇ 관세율표 제8543호에는 기타 고유한 기능을 가진 전기기기가 분류되며, 동 호 해설서는 “치료목적이 아닌 공업용의 오존발생기”를 이 호에 분류토록 해설하고 있음. ㅇ 따라서 본건 물품은 관세율표해석에관한 통칙 1 및 6의 규정에 의거 공업용의 오존발생기(제8543.70-9090호)로 분류함 |
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