| 참조번호 | 품목분류2과-3039 |
|---|---|
| 시행일자 | 2011-08-19 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.20-4000 |
| 품명 | Semi-automatic Screen and Stencil Printer(신청품명 : 솔라셀 평가용 인쇄기) ; X5-STS ; Germany |
| 물품설명 |
ㅇ 기능 및 용도
1) 기능 - EVA Vision 시스템 장착으로 웨이퍼의 edge 및 align 마크 인식 기능을 수행 - Vision 시스템을 이용하여 자유롭게 카메라 위치를 프램그램화 시켜 사용 - 매뉴얼 사용 기능, Auto align 기능 - 웨이퍼 로딩시 매뉴얼 및 auto loading 기능 - 프린팅 모드를 다양하게 사용 가능 2) 용도 - 태양광전지용 실리콘 웨이퍼의 전ㆍ후면에 금속전극인 페이스트(은 85%, 기타 15%)를 스크린 프린터방식으로 인쇄하는 기계 ※ 스크린프린터 : 스크린마스크 위에 Paste를 놓고 스퀴지로 문지르며 웨이퍼 표면에 금속패턴을 형성함 ㅇ 물품형태 1. Wafer loading부 : 실리콘 웨이퍼를 자동 또는 매뉴얼로 웨이퍼 로딩부에 장착시키는 기능 2. Graphical user interface : 사용자가 PC 모니터 상에 프린팅 하기위한 필요한 모든 정보(웨이퍼 정보, 스퀴즈 압력, 스퀴즈 속도, 프린팅 압력, 방법 등)를 입력하여 편리하게 사용 및 관리 기능 3. 스퀴즈 헤드 : 웨이퍼에 프린팅 하기위해 일정한 압력을 사용하여 페이스트를 스크린 제판 형상과 동일하게 코팅 해 주기위한 기능 4. Align용 CCD 카메라 : 스크린 제판 형상과 동일하게 웨이퍼에 코팅을 하기위해서는 웨이퍼와 스크린 제판 정렬이 필요한데 이 정렬을 정확하게 하기 위한 기능 수행 5. 스크린 제판 : 웨이퍼 표면에 일정한 형상(생성된 전기 이동 경로)을 코팅하기 위해서는 스텐실 기법을 이용하여 코팅을 하게 되는데 이러한 코팅을 하기 위한 패턴 마스크용 제판 ㅇ 작동원리 - 사용하고자하는 웨이퍼를 웨이퍼 로딩부에 매뉴얼로 로딩 - 웨이퍼가 로딩되면 웨이퍼 로딩부는 프린팅하기 위한 로딩부(설비 중앙부)로 이동 - 프린팅 로딩부로 이동한 웨이퍼는 제판과 웨이퍼 중간에 위치한 align용 CCD 카메라에 의해 align - Align된 웨이퍼는 제판 형상과 동일한 패턴으로 스퀴즈의 일정한 속도와 압력으로 인해 인쇄되며, 이때 페이스트는 웨이퍼 표면에 제판 형상과 동일한 형상으로 인쇄 - 인쇄가 끝난 웨이퍼는 웨이퍼 로딩부로 이동 - 인쇄가 끝난 웨이퍼를 다음 공정인 dry공정으로 이동시킴 - 이 모든 과정은 graphical user interface에 입력하여 사용 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8486호에는 “반도체보올 또는 웨이퍼·반도체디바이스·전자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계와 기기, 이류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부속품”이 분류되고,
ㅇ 관세율표 제84류주9가, 제85류주8 및 관세율표해설서 제8541호 (B)(2)(i)에 따라 태양전지는 제8486호의 범위에 해당되는 반도체디바이스에 해당되는 물품으로 제84류주2 및 제84류주9라에 따라 “제8486호의 표현을 만족하는 기계는 제8486호에 분류한다.“고 규정하고 있음 ㅇ 또한, 관세율표해설서 제8486호(B)반도체디바이스 또는 전자집적회로 제조용 기계와 기기 (1) 막형성장비에 “이 장비는 웨이퍼가공공정에서 웨이퍼 표면에 여러가지 막을 형성한다. 이러한 막은 완성된 디바이스 상에서 도체, 절연체 및 반도체역할을 한다. 이들 막은 표면금속 및 에피택셜 층의 산화물과 질화막 등을 포함하고 있다. 아래에 예시한 공정과 장비들은 특정타입의 막만으로 생성하도록 제한된 것은 아니다.”라고 해설하고 있음 - 관세율표해설서 제8534호에는 스크린인쇄법으로 후막회로를 형성하는것도 막형성으로 해설하고 있음 ㅇ 따라서, 본 물품은 태양광전지용 실리콘 웨이퍼의 전ㆍ후면에 금속전극인 페이스트를 스크린 프린터방식으로 막을 형성하는 기계로 보아 관세율표해석에관한통칙 1 및 6의 규정에 의거 제8486.20-4000호에 분류한다. 끝. |
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