| 참조번호 | 품목분류2과-427 |
|---|---|
| 시행일자 | 2009-05-26 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | HSK8486.40-3010(양허 0%)에 분류한다. |
| 품명 |
□ 품 명 : Wet Bench Unloading system-WBU
ㅇ 규격 : - 이송 Type : 레일방식(Multi), 로봇팔방식(Mono), 수평/수직 이송 - Wafer Size : 156밀리미터×156밀리미터 이상 - Max 처리능력 : 시간당 1천800장 이상 - 모델명 : ITXWU(Multi), WSPU(Mono) |
| 물품설명 |
ㅇ 구성요소 : Transfer Unit, Transfer Belt, Wafer Handling, Functional Sequence, Camera Unit, Centering, Lift, Store, Stacker 등으로 구성
ㅇ 용도 태양전지용 반도체 웨이퍼 제조공정 중 Wet Bench PSG공정(약액 중에 웨이퍼를 침적시켜 화학적 용해 등에 의해 오염을 제거하고 오염물을 포함한 약액을 씻어내기 위한 린스 및 건조 공정)이 끝난 웨이퍼를 두 개의 로봇팔을 이용하여 배출하고, - 4대의 카메라를 이용, 공정이 끝난 웨이퍼를 검사하여 양품과 불량품을 각각 ACI Carrier(100개의 웨이퍼를 적재할 수 있는 플라스틱제의 이송도구)와 Reject Boxes에 적재하는 장비 □ 구성요소별 상세설명 ㅇ Wafer Unloading 공정 : Process 처리된 Wafer를 장비에서 배출 ㅇ Stacking 공정 : Unloading된 Wafer를 LSC(적재박스)로 Stack 시킴 ㅇ Inspection 공정 : 장착된 Camara를 통해 Wafer Position 및 Damage 검사(옵션) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제84류 주9 가항에 “제85류의 주8호 가목 및 나목의 “반도체디바이스”와 “전자집적회로”의 표현은 이 주 및 제8486호에서도 사용된다. 다만, 이 주 및 제8486호의 목적에 따라 “반도체디바이스”는 감광성 반도체 디바이스와 발광다이오드를 포함한다.”고 규정하고 있고
- 다항에 제8486호에는 반도체디바이스 조립과 반도체디바이스의 권양, 하역, 적하, 또는 양하용에 전용 또는 주로 사용되는 기계를 분류한다. 고 규정하고 있음. ㅇ 관세율표 제8486호에 “반도체 디바이스의 적하. 하역 등에 전용 또는 주로 사용되는 기계”를 규정하고 있고 - 동 해설서 (3)항에 봉, 웨이퍼, 반도체 디바이스, 전자집적회로 및 평판디스틀레이의 권양, 하역, 양하 및 적하용의 기기(예를 들면, 반도체 웨이퍼, 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 박스 및 기타 반도체 디바이스용 원료를 운송, 하역 및 저장하기 위한 자동 원료하역기 등)를 예시하고 있음. ㅇ 한편 관세율표해설서 제16부 (III) 부속기기의 분류에 대해 “주기기와 함께 제시되는 부속기기(例 : 기타의 측정용 또는 검사용기기. 콘트롤페널. 자동조절기 등)로서 통상 주기기에 종속되는 것은 주기기와 함께 분류된다. 이들 부속기기들은 하나의 특정기계를 측정·검사·제어 또는 조절하도록 설계제작된 것이어야 한다(이들은 복합기계<하기 VI항 참조> 또는 Functional unit<하기 VII항 참조>일 경우도 있다)”라고 해설하고 있음. - 따라서 같이 제시된 측정 또는 검사용 부속기기는 Functional Unit로 같이 제8486호에 분류되어 야 함. ㅇ 본 물품은 제8541호에 분류되는 “감광성 반도체 디바이스(태양전지)”용 웨이퍼를 제조 공정 중 Wet Bench PSG공정(약액 중에 웨이퍼를 침적시켜 화학적 용해 등에 의해 오염을 제거하고 오염물을 포함한 약액을 씻어내기 위한 린스 및 건조공정)이 끝난 웨이퍼를 두 개의 로봇팔을 이용하여 배출하고, 4대의 카메라를 이용 공정이 끝난 웨이퍼를 검사(옵션사항)하여 양품과 불량품을 각각 ACI Carrier(100개의 웨이퍼를 적재할 수 있는 플라스틱제의 이송도구)와 Reject Boxes에 적재하는 장이므로 관세율표해설에 관한 통칙1(제16부 주4, 84류 주9가항. 다항, 제8486호의 용어)과 6에 의거 반도체 소자 제조용 웨이퍼, 웨이퍼카셋트, 상자 및 기타 물품을 이송, 핸들링 하는 기계 및 기기가 분류되는 HSK8486.40-3010에 분류함 |
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