| 참조번호 | 품목분류2과-428 |
|---|---|
| 시행일자 | 2009-05-26 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | HSK9031.41-9000에 분류한다. |
| 품명 |
품명 : Wafer Inspector or Loaing System(웨이퍼 검사 및 적하시스템)
ㅇ 거래품명 : Wet Bench Loading system-WBL ㅇ 규격 : - 이송 Type : 레일방식 (Multi), 로봇팔방식 (Mono), 수평/수직 이송 - Wafer Size : 156밀리미터×156밀리미터 이상 - Max 처리능력 : 시간당 1천800장 이상 - 모델명 : ITXWL(Multi), WSPL(Mono) |
| 물품설명 |
ㅇ 구성요소 : Wafer Magazine(웨이퍼 저장박스), Transport Path, Loading Magazine, Wafer Separation Loading Handling Magazines, Functional Sequence, Camera Unit, Centering, Lift, Loading Handling Wet Bench, Transfer Belt LSC (Law Surface Carrier) 등으로 구성
ㅇ 용도 태양전지용 반도체 웨이퍼 제조공정 중 Texturing 공정전에 단결정 또는 다결정 상태의 웨이퍼를 레일과 로봇팔을 이용하여 검사공정으로 이송하고 웨이퍼의 광학적 검사(웨이퍼 사이즈, 오염상태, 휘어진 상태, 파손 등) 등을 실시하는 장비 ※웨이퍼의 품질이 회사별, Lot별로 편차가 매우 크므로 사전검사실시 □ 구성요소별 상세설명 ㅇ Wafer Loading 공정: Magazine에 담겨진 Wafer를 장비에 투입 ㅇ Separating 공정 : 투입된 Magazine에서 Wafer를 1장 단위로 분리/투입 ㅇ Inspection 공정 : 장착된 Camara Unit을 통해 Wafer의 파손, 무게, 불량 등 검사 실시 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표해설서 제8486호에 반도체 제조에 전용 또는 주로 사용하는 기계와 기기라도 측정(measuring), 검사(checking, inspecting), 화학분석(chemical analysis) 등의 기계와 기기는 제90류에 분류토록 해설하고 있는 바,
ㅇ 관세율표 제90류에는 “측정기기, 검사기기, 정밀기기와 의료용기기 및 이들의 부분품과 부속품” 등이 분류되며 관세율표해설서 제90류 총설(Ⅰ)에 이류에는 일반적으로 높은 완성가공도와 정도에 의하여 특정지어지는 각종기기가 분류된다고 해설하면서 “(F) 대부분의 측정용 검사용의 기기”가 포함된다고 열거하고 있음. ㅇ 관세율표 제9031호 “기타의 측정 또는 검사용의 기기(이 류의 다른호에 분류되지 아니한 것에 한한다)”를 규정하고 있으며 - 동 해설서에 (27) 재료의 흠. 균열 또는 기타의 결함검출장치, (5)광학식 표면 검사기 등을 예시하고 있음. ㅇ 따라서 본 물품은 제8541호에 분류되는 “감광성 반도체 디바이스(태양전지)”용 웨이퍼를 제조하기 전에 Camara Unit을 통해 단결정 또는 다결정 Wafer의 광학적 검사(웨이퍼 사이즈, 오염상태, 휘어진 상태, 파손 등의 검사를 실시하는 장비이므로 관세율표해설에 관한 통칙1(제9031호의 용어)과 6에 의거 기타 광학식의 반도체 웨이퍼 및 소자검사용 기기가 분류되는 HSK9031.41-9000에 분류함 |
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