| 참조번호 | 품목분류2과-255 | ||||
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| 시행일자 | 2009-04-29 | ||||
| 시행기관 | 관세평가분류원 | ||||
| 결정세번 | |||||
| 변경내역 |
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| 품명 | - Ni-Pt Target with Backing Plate ; 10% Ni-Pt, 4.5N, 300mm | ||||
| 물품설명 |
- 본품은 가장자리의 볼트 구멍을 이용, PVD설비 쳄버내에 부착시킨 후, 이온진공증착방법으로 Target에 고전압의 전류를 흘려 Ar Plasma를 이용하여 Target (Ni-Pt)을 원자 또는 분자단위로 만들어 반도체와 금속배선간의 Silicide막으로 증착되는 물품으로
- Backing Plate(Cu)위에 원형의 Ni-Pt Target이 Bonding(용접)방식으로 결합된 형태의 일체형 물품으로 이온증착 후, Target은 일정부분 소모되어 없어지고 남은 Target Scrap과 Backing Plate는 ㅍtarget with backing plate는 폐기되는 물품임 (성분 : Ni-Pt 99.995%이상, Pt성분 9.5~10.5%) |
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| 결정사유 |
ㅇ 본 품은 구리재질의 Backing Plate위에 원형의 Ni-Pt Target 합금을 Bonding 방식으로 결합시켜 PVD장비에서 이온진공증착방법으로 반도체웨이퍼에 증착시키는 Source Taget에 사용되는 것으로
ㅇ Ni-Pt Target합금은 백금성분이 중량대비 9.5%~10.5%로 생산제작되는 물품으로 귀금속에 해당되는 물품임 - 제71류주5“이류에서 귀금속을 함유한 합금(소결한 혼합물과 금속간 화합물을 포함한다)중 귀금속의 어느 하나의 함유량이 전중량의 100분의 2이상인 것은 귀금속의 합금으로 본다. 이 경우 귀금속의 합금에 대하여는 다음 규정에 따라 분류한다. 가. 백금의 함유량이 전중량의 100분의 2 이상인 것은 백금의 합금으로 본다.” - 제71류주6？이표의 귀금속에는 문맥상 따로 규정한 경우를 제외하고는 주제5호에 따른 귀금속의 합금도 포함한다...？ ㅇ Ni-Pt Target 합금은 제71류주제6에 따라 귀금속에 해당되며, Ni-Pt Target 합금에 용접방식으로 Backing Plate를 결합시킨 본 품은 제71류주7에서 규정하고 있는 기계적 방법으로 귀금속을 입힌 물품에 해당됨 - 제71류주7. 이표에서？귀금속을 입힌 금속？이라 함은 금속의 한면 또는 양면이상에 땜접？납접？용접？열간압연 또는 이와 유사한 기계적 방법으로 귀금속을 입힌 것을 말하며...？ ㅇ 따라서, 본 품은 제71류주5, 제71류주6, 제71류주7 및 제7115호의 용어 및 소호의 용어에 따라 HSK7115.90-1090호에 분류한다. |
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