| 참조번호 | 품목분류과-107866 |
|---|---|
| 시행일자 | 2007-02-27 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8479.89-9099 |
| 품명 | IsoPort 300mm |
| 물품설명 | ㅇ 물품 개요 : 반도체 장비에 전용으로 사용되어지도록 설계제작된 물품@§으로서, CMP, CVD, 반도체 측정기기(Uvision system) 등 장비에 공통적으@§로 사용되는 물품으로 300mm 반도체 설비에 장착하여 Wafer를 카세트에 정@§렬하는 물품임@§ - Iso Port는 wafer를 움직이기 위하여 진공등이 작동하여 wafer를 @§hold @§ - Uvision system내부에서 자동으로 wafer를 가져가 laser로 scan하@§여 defect를 검사@§@§ ㅇ 작동원리@§ - 300mm wafer carrier가 IsoPort에 Loading되었을 경우 IsoPort는 이@§를 인식하여 Host장비에 Report, Host장비에서 Open 및 close이 수신될 경@§우, wafer carrier를 open 및 close함@§ @§ ㅇ 기능@§ - 300mm wafer carrier open/close@§ - Carrier 내부 wafer 유무 판독 및 위치 확인@§ - Mapping data를 Host장비(CMP,CVD,Uvision system등)로 전송@§ - Foup(웨이퍼카세트)정렬 : 레츠키가 조금씩 회전하며 웨이퍼카세트@§를 미세하게 정렬@§ - 정전기를 중화시키는 기능@§ - 웨이퍼 돌출유무를 감지하는 기능@§ ㅇ 용도@§ - 300mm wafer carrier opener |
| 결정사유 |
- 관세율료 제8479호는 제84류의 다른 호에 분류되지 아니한 고유의 기능 을 가진 기타의 기타의 기기가 분류되고 - 관세율표해설서 제8479호(B)항 다른 기계 혹은 기기에 부착하거나 또는 복합기계중에 결합된 경우에 한하여 그 기능이 수행될 수 있는 것으 로서 (ⅰ)부착된 기계 또는 기기나, 그것이 결합된 경우에 한하여 기능과 는 별개의 기능 (ⅱ)기계․기기 또는 복합기계의 조작상 필수불가결의 부분으로 작용 하지 아니하는것 - 질의물품은 반도체 장비에 전용으로 사용되어지도록 설계제작된 물 품으로서, CMP, CVD, 반도체 측정기기(Uvision system) 등 장비에 공통적 으로 사용되는 물품으로 300mm 반도체 설비에 장착하여 Wafer를 카세트에 정렬하는 물품으로서 제8479호 해설서 (B)항 규정 및 통칙1호에거 HS8479.89-9099호에 분류 |
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