| 참조번호 | 품목분류과-107788 |
|---|---|
| 시행일자 | 2007-01-30 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8486.90-1010 |
| 품명 |
Tool holder of Grinding Machines for processing semiconductor wafers; Pad Backer |
| 물품설명 | ㅇ 물품 개요@§ 윗부분은 폴리우레탄, 아랫부분은 스테인레스 재질로 된 원형 판에 작@§은 Hole이 뚫려 있으며, 웨이퍼 표면연마기(CMP: Chemical Mechanical @§Polishing)에 사용되는 물품임@§@§ㅇ 구조 및 형태(신청인 제시 카다로그) @§ -재질: 상부 폴리우레탄, 하부 스테인레스@§ -크기: 직경 295mm, 두께 약 4mm(폴리우레탄 약 3mm, 스테인레스 약 1mm)@§ -Slurry(연마액)이 공급될 수 있도록 원판에 Hole이 뚫려 있음 @§@§ㅇ 기능/용도@§ -본품을 웨이퍼 표면연마기의 회전부에 클립을 이용하여 고정시키고@§ -본품 윗부분에 연마패드를 부착시키면(Pad에 접착성물질이 도포되어 있@§음)@§ -본품과 연마패드에 뚫려 있는 Hole을 통하여 연마액이 공급상태에서 @§ -회전부의 작동으로 연마패드가 웨이퍼표면을 평탄하게 연마할 수 있게 @§함. |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제16부 주2(기계의 부분품 분류규정)에서“ 제84류 또는 제85 류중 어느 특정한 호(제8409호, 제8431호, 제8448호, 제8466호 제8473호, 제8487호, 제8503호, 제8522호, 제8529호, 제8538호, 제8548호를 제외 한 다)에 포함되는 부분품은 각각 당해 호에 분류한다.”라고 규정하고 있으 며, ㅇ 관세율표 제8486호에는“반도체 보울 또는 웨이퍼ㆍ반도체디바이스ㆍ전 자집적회로 또는 평판디스플레이의 제조에 전용 또는 주로 사용되는 기계 와 기기, 이 류의 주 제9호 다목에서 특정한 기계와 기기 및 부분품과 부 속품”을 분류토록 규정하고 있음 - 관세율표해설서 제8466호에서 “투울 호울더는 가공용 공구를 지지하거 나 안내하며 혹은 조작함과 동시에 이와 같은 공구의 교체를 가능케 하는 것이며, 이러한 투울 호울더에는 각종 형식의 것이 있다.”라고 해설하고 있으며, 동 호에서“(e)제8486호의 기계에 전용 또는 주로 사용되는 부분 품(가공물 홀더, 툴 홀더 및 기타 특수부착물을 포함)은 제외토록 규정하 고 있음 - 동표 해설서 제8486호 (E) 부분품과 및 부속품에서는 “이 호에 분류되 는 부분품과 부속품에는 특히, 이호의 기계에 전용 또는 주로 사용되는 툴 홀더 및 기타 특수부착물 등이 포함된다.”라고 규정하고 있음 ㅇ 본품(Pad backer)은 윗부분에 플라스틱제 연마패드(Polishing pad) 를 부착하여 사용하는 것으로써, 본품과 연마패드에 뚫려 있는 Hole사이 로 연마액이 공급되는 상태에서 연마패드가 평탄하게 연마공정을 수행할 수 있도록 연마패드를 지지하여 주는 역할을 함 ㅇ 따라서, 관세율표 제16부 주2의 규정 및 동 표 제8486호의 용어에 따 라 제8486.90-1010호(종전 제8466.10-0000호)에 분류함. |
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