| 참조번호 | 품목분류과-107265 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-06-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8479.90-3010 |
| 품명 | Valve Door : 12" |
| 물품설명 | ㅇ 구성 및 형태 @§ - 알루미늄재질의 제품 가장자리에 불소고무로 된 O-ring이 결합@§ ㅇ 기능 및 용도@§ - CVD장비의 Chamber와 Chamber 사이에 장착되어 Chamber의 개폐역할@§을 함으로써 웨이퍼를 이동하게 하며 @§ - 알루미늄 body에 결합되어 있는 특수고무는 증착과정에서 발생하는 @§플라즈마나 가스가 새는 것을 방지하고 기계적 마찰에 의한 Particle발생@§을 억제하는 역할을 함@§ @§ ※ CVD장비는 Load Rock Chamber, Transfer Chamber, Process @§Chamber 등으로 구성되어 있으며, 웨이퍼를 각 Chamber로 이동시켜 최종 @§Process Chamber에서 절연막 증착이 이루어 짐 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 CVD장비의 Chamber와 Chamber 사이에 장착되어 Chamber의 개폐역할을 함으로써 웨이퍼를 이동하게 하며 알루미늄 body에 결합되어있 는 특수고무(o-ring)는 증착과정에서 발생하는 플라즈마나 가스가 새는 것 을 방지하고 기계적 마찰에 의한 Particle발생을 억제하는 역할을 함 ㅇ CVD(화학기상증착기)는 반도체 제조공정 중 웨이퍼위에 절연막을 증착 하는 장비로서 제8479.89-2020호에 분류됨 ㅇ 따라서 본 물품은 CVD장비에 전용되어 사용되도록 설계.제작된 물품 이므로 CVD장비의 부분품이 분류되는 HSK8479.90-3010호에 분류< 통칙1 및 6> |
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