| 참조번호 | 품목분류과-107201 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-05-17 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8479.89-2099 |
| 품명 | Mask Repair System ; NM650 |
| 물품설명 | ㅇ 물품형태(화주제시 설명서 및 카탈로그)@§ 원자현미경(AFM), 레이저발생기, Photo Diode와 전원공급장치 및 컴퓨@§터로 구성@§ @§ ㅇ 기능 및 용도 (화주 제시 설명서 및 카탈로그)@§ 마스크(웨이퍼에 형성할 회로가 그려져 있는 사진원판)에 형성된 회로@§가 불량일 경우 수정하는 용도로 사용하는 기계@§ @§ ㅇ 구성요소 및 기능@§ ① AFM(Atomic Force Microscope) : 원자현미경으로서 마스크 회로의 불@§량부분의 위치 를 찾아 수리까지 수행@§ ② Laser Generator : Laser를 발생하는 부분@§ ③ Photo Diode : 원자현미경에 부착된 다이아몬드 팁을 맞고 나오는 @§Laser를 검출하는 광센서@§ ④ Operation System : 컴퓨터형태로 되어 있으며, 장비의 운용을 @§Control하는 역할@§ ⑤ Transformer Box : 전원공급장치@§@§ ㅇ 작동원리@§ ① 불량 마스크를 스테이지에 놓음@§ ② AFM에 부착된 다이아몬드팁이 Mask의 표면을 긁고 지나감@§ ③ 지나가는 다이아몬드팁에 Laser를 조사하여 다이아몬드팁을 맞고 나@§오는 Laser를 Photo Diode를 이용하여 검출하여 화면에 디스플레이함@§으로써 불량부위를 찾음@§ ④ AFM에 부착된 다이아몬드 팁으로 불량부분을 깍아내어 제거함 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 AFM, Laser Generator, Photo Diode로 구성된 본체와 컴퓨 터(컨트롤 및 디스플레이) 및 전원공급기가 연결되어 반도체 제조 시 사용 하는 마스크(웨이퍼에 형성할 회로가 그려져 있는 사진원판)에 형성된 회로 가 불량일 경우 수정하는 용도로 사용하는 기계임 ㅇ 제16부 주4에 “하나의 기계가 각종의 개별기기로 구성되어 있는 경우 에도 이들이 제84류 또는 제85류 중의 어느 호에 명백하게 규정된 기능을 함께 수행하기 위한 것일 때에는 그 전부를 그 기능에 따라 해당하는 호에 분류한다” 라고 규정하고 있음 ㅇ 따라서 본 물품은 다이아몬드 팁을 이용하여 마스크를 수리하는 기계이 므로 전체를 제84류의 다른 호에 특별히 분류되지 않는 기타의 기계로 보 아 8479.89-2099에 분류<통칙1 및 6> |
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