| 참조번호 | 품목분류과-106878 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-04-05 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8419.39-9000 |
| 품명 | Dryer ; FCD200CL |
| 물품설명 | ㅇ 기능 및 용도@§- Wafer를 세척한 후에 Wafer에 묻어있는 초순수(DI Water)를 이소프로필알@§콜(IPA)과 HOT N2(질소)를 이용하여 건조시키는 장비임@§ㅇ 주요 구성요소 및 기능@§- Lift : Wafer를 상하로 이동시킴@§- Nozzle : IPA와 N2를 분사@§- Heater : 코일이 감긴 형태의 관으로 N2를 데워주는 역할@§- Vacuum Pump : 챔버 내부를 진공으로 만들기 위한 펌프@§- 전장 Box : 설비에 필요한 전원 및 설비를 제어하는 장치@§ㅇ 작동원리@§- Dryer Cover가 Open되고 Robot가 Wafer를 Dryer Lift 위에 안착시키면,@§- 초순수가 담긴 Bath로 Down되고 Hot N2 Purge하에 1차 Rinse를 하고 이소@§프로필알콜을 분사한 상태에서 Lift Up시키고 Bath Drain 후,@§- 감압건조를 하며 이후 Heater를 통과한 HOT N2 Purge를 실시하여 건조동@§작을 완료 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8419호에는 “가열·조리·배소·증류·정류·살균·저온살 균·증기가열·건조·증발·응축·냉각 기타 온도변화에 의한 방법으로 재 료를 처리하는 기계·설비 또는 장치”를 규정하고 있는 바, ㅇ 본 물품은 Wafer를 세척한 후에 Wafer에 묻어있는 초순수(DI Water)를 이소프로필알콜(IPA)과 가열 N2(질소)를 이용하여 건조시키는 장비로 온도 변화에 의한 방법으로 재료를 건조하는 기계에 해당 ㅇ 따라서, 통칙1의 규정에 의거 기타의 건조기(8419.39-9000)로 분류 |
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