| 참조번호 | 품목분류과-106838 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-03-30 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9025.80-3090 |
| 품명 | Moisture Analyzer(/AMETEK5910) |
| 물품설명 | ㅇ 기능 및 용도@§ - 반도체생산라인에 사용되는 각종 Gas(헬륨, 산소, 질소, 아르곤등)내 @§수분농도를 Monitoring하는 장비(가스내 수분함량이 많으면 산화막이 형성@§되어 부식이 일어남)@§@§ㅇ 구성 및 작동원리@§ - ① MFC : 일정량의 가스가 흐르도록 조절하는 장치@§ ② Dryer : Sample Gas내 수분을 제거하여 Zero Gas를 제조하는 장치@§ ③ Quartz Crystal Sensor : Sample Gas와 Reference Gas(반도체 생산@§시 사용되는 가스)의 통과시 발생하는 진동수를 비교하여 수분농도를 측정@§하는 센서@§ - 최초 Dryer를 이용 수분을 제거한 Zero Gas를 만들어 수분이 잘 흡수되@§도록 코팅되어 있는 Quartz Crystal Sensor를 통과시켜 1차로 진동수를 측@§정한 후, 2차로 반도체제조공정에서 실제로 사용되는 Reference Gas를 통@§과시켜 진동수를 측정하여 이를 1차에서 측정된 진동수와 비교하여 가스@§내 수분농도를 분석함. |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9025호에는 “ ... 습도계 ...”가 분류되며 - 동호 해설서에서 (D) 습도계 및 자기습도계에서 “공기, 기체 및 고체 중 습도농도를 측정하는데 사용되는 것으로 ...... ”라고 - 제9027호 해설서 제외규정(h)에서 "제9025호의 액체비중계·온도계·습 도계 및 이와 유사한 기기(실험실용의 여부를 불문한다)”라고 해설하고 있음. ㅇ 본 물품은 Quartz Crystal Sensor를 이용하여 가스내의 수분농도를 측 정하는 장비로, 습도계(9025.80-3090)로 분류함 |
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