| 참조번호 | 품목분류과-106766 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-03-20 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 9031.41-9000 |
| 품명 | Film Thickness Measurement System ; NovaScan3090 |
| 물품설명 | ㅇ 기능 및 용도 (신청인 작성 물품설명서)@§ -반도체 설비 중 CMP장비(웨이퍼 위의 막을 고르게 평탄화하는 기계)에 @§설치(부착)되어 CMP공정 전, 후 웨이퍼 박막의 두께를 측정하는 기기@§@§ ㅇ 작동원리(신청인 작성 물품설명서)@§ ① 측정하고자 하는 웨이퍼를 스테이지에 장착@§ ② 웨이퍼에 특정파장(205 ~ 950nm)의 빛(Xenon ARC Lamp)을 막에 조사@§ ③ 막을 맞고 반사되어 나오는 빛의 파장을 검출하여 웨이퍼의 박막의 @§두께를 측정 |
| 결정사유 |
본 물품은 측정원리가 광학식이며 웨이퍼 박막의 두께를 측정하는 기기로 서 제90류의 다른 호에 분류되지 아니하는 측정 또는 검사용의 기기이므로 광학식의 웨이퍼 검사용의 기기로 보아 (9031.41-9000)에 분류<통칙1 및 6> |
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