| 참조번호 | 품목분류과-106654 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-03-02 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8479.90-3010 |
| 품명 | HEATER BLOCK ; 61630-3137 |
| 물품설명 | ㅇ 물품개요@§ - 웨이퍼 세정작업에 사용되는 약액(Chemical)의 온도를 높여주는 기기@§ ㅇ 구성요소별 기능@§ - 보호커버 : 내부 부품을 보호하기 위한 금속 커버@§ - 단열재 : 수정관과 커버사이에 충진되어 내부에서 발생한 열을 차단@§하여 내부를 일정 온도로 유지@§ - 수정관 : 석영유리로 되어 있으며, 액체가 순환하는 통로@§ - 발열관 : 할로겐 램프 3개가 장착되어 수정관 속의 액체를 가열@§ - 센서(3개) : 내부온도확인, 출구온도확인 및 누수확인용@§ - 전원접속용 케이블 : 발열관 및 센서에 전원을 공급하기 위한 절연전@§선@§ ㅇ 기능(신청인 작성 물품설명자료)@§ - 침적식 웨이퍼 세정장비인 Wet Station의 Chemical Bath 순환부에 장@§착되는 물품으로@§ - 내부의 수정관을 통과하는 액체를 수정관에 장착되어 있는 발열기(할@§로겐램프)로 가열하여 일정 온도(50℃)까지 높이거나 유지하는 역할을 함 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 침적식 웨이퍼 세정장비인 Wet Station의 Chemical Bath 순 환부에 장착되어 수정관을 통과하는 액체를 발열기(할로겐램프)로 가열하 여 일정 온도(50℃)까지 높이거나 유지하는 역할을 하는 물품으로 ㅇ 전열용저항체인 할로겐램프에 센서 및 단열재가 부착된 금속커버까지 갖추고 있는 있어 전열용저항체의 범위를 벗어나는 물품이므로 본 물품이 장착되는 기기의 부분품으로 분류되어야 하는 바 ㅇ 습식 웨이퍼 세척기의 부분품이 분류되는 8479.90-3010호에 분류됨 |
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