| 참조번호 | 품목분류과-106540 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-02-14 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8481.30-0000 |
| 품명 | FOUP Purge Outlet Filter ; 01-020933 |
| 물품설명 | ㅇ 구성 및 형태 @§ - Cap, O-ring, Guide, Plunger, Spring 등으로 구성 @§ ㅇ 기능 및 용도 @§ - 반도체 제조공정 중 FOUP(웨이퍼를 담아두는 용기)내부에 N2 및 불활@§성 GAS를 주입하여 FOUP내부에 담겨져 있는 Wafer표면의 이상 막질 성장을 @§억제하는 데@§ - FOUP내부에 주입된 N2 및 불활성 GAS의 적정압력 유지를 위하여 일정 @§압력 이상의 공기 및 GAS가 FOUP 내부로 주입되면 자동으로 Check Valve가 @§열려 FOUP외부로 배출됨@§ ㅇ 작동원리@§ - Check Valve로 압력이 가해지면 Head가 아래로 눌려 공기 및 GAS가 아@§래로 배출 |
| 결정사유 |
ㅇ 제8481호에는 파이프·보일러의 동체·탱크·통 또는 이와 유사한 물품 에 사용하는 탭·코크·밸브와 이와 유사한 장치가 분류되며, 체크밸브는 8481.30소호에 분류됨 - 동 해설서 제8481호에 기체의 압력을 조정하도록 설계된 장치도 포함됨 을 해설하고 있음 ㅇ 본 물품은 반도체 제조공정 중 FOUP(웨이퍼를 담아두는 용기)내부에 N2 및 불활성 GAS를 주입하여 FOUP내부에 담겨져 있는 Wafer표면의 이상 막질 성장을 억제하는 데, FOUP내부에 주입된 N2 및 불활성 GAS의 적정압력 유지 를 위하여 일정 압력 이상의 공기 및 GAS가 FOUP 내부로 주입되면 자동으 로 Check Valve가 열려 FOUP외부로 배출하는 역할을 수행하므로 체크밸브 로 보아 (8481.30-0000)에 분류<통칙1 및 6> |
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