| 참조번호 | 품목분류과-106413 |
|---|---|
| 시행일자 | 2006-01-26 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8514.90-1010 |
| 품명 | Heater(100224-01 Clam Shell) |
| 물품설명 | ㅇ 기능 및 용도@§ - 웨이퍼를 고온의 전기로에 적재한 후 GAS상태의 불순물을 흘려 웨이퍼 @§표면에 얇게 증착한 후 열처리 함으로써 웨이퍼 내부로 불순물을 깊숙이 @§주입하는 반도제 제조용장비인 확산로(Furnace)의 온도를 요구되는 수준으@§로 Heating하기 위해 사용됨.@§@§ㅇ 구성 및 작동방식@§ - KANTHAL-A1 재질의 Coil이 Ceramic Fiber Mold 처리되어 있고, 표면은 @§스테인레스스틸로 씌워져 있으며 전원단자가 장착되어 있음.@§ - 단자에 전원이 공급되면 Coil이 발열하게 되어 공정이 요구하는 온도@§로 확산로를 Heating하게 됨. |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8516호에는 “ .... 전열용 저항체”가 분류되며, 동해설 서 (F) 전열저항체에서 “탄소의 전열저항체(제8545호)를 제외하고 모든 전열저항체는 그것이 사용되는 기기의 분류에 관계없이 이 호에 분류된 다. ..... 전열저항체는 전류가 흐를 때에 고온이 발생되는 특수재료의 봉 ·판등 또는 일정한 길이의 선(보통 코일상으로 되어 있다)으로 구성되어 있다. 이 재료에는 여러가지(특수합금·탄화규소등)가 사용된다. ...... 저항체는 어떤 특정기기에 전용되는 것이라 할지라도 이 호에 분류된다. 다만, 간단한 절연체 및 전기접속부분 이외의 부분품과 함께 조립되어 있 는 경우에는 그 기기의 부분품으로서 분류된다(예 : 아이론용 base plates 및 전기요리용 plate).”라고 해설하고 있음. ㅇ 본 물품은 스텐인레스스틸제의 원통내에 Coil이 내부 발생열의 손실을 막는 역할을 하도록 Ceramic Fiber Mold처리되어 있으며, 또한 외부에 전 원공급 등을 위한 단자가 있는바 전기로에 장착되도록 설계되어 있으며 - 8516호 해설서에서 저항체가 간단한 절연체 및 전기접속부분 이외의 부 분품과 함께 조립되어 있는 경우(예 : 아이론 및 전기요리용 Base plate) 에는 그 기기의 부분품으로 분류하도록 하고 있기 때문에 8516호가 아니 라 본 Heater가 장착되는 설비의 부분품으로 분류하여야 함. ㅇ 본 물품이 장착되는 확산로(Furnace)는 반도체제조용 저항가열식 노 (8514.10-9011)이며, 따라서 저항가열식 노에 사용되는 부분품(8514.90- 1010)으로 분류함. |
| 이미지건수 | 0 |
| 관련 이미지 |