| 참조번호 | 품목분류과-106274 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-12-29 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | HSK9024.80-9090호에 분류 |
| 품명 | CMP Tester(CETR CP-4) |
| 물품설명 | ㅇ 기능(용도) 및 구성요소@§ - Wafer 막질의 CMP(Chemical Mechanical Polishing, Wafer에 형성된 막@§을 연마하는 작업) 작업시 Wafer 막질에 맞는 최적의 Slurry 및 Pad를 사@§용하기 위해 사전에 Wafer를 연마해보는 장비(신청인이 제시한 용도)@§ - 그러나, 신청인이 제시한 물품명세서(Commodity Descriptions)상에는 @§CMP Test외에도 여러가지 재료들의 기계적 특성(Scratch Test, Wear, @§durability/fatigue and de-lamination measurement 등)도 시험할 수 있다@§고 기술하고 있음.@§ - 주요구성요소는@§ ① Main Body : CMP의 특성을 실제로 측정하는 장비@§ ② Vaccum Chuck : Wafer를 진공으로 흡입하여 고정하는 장치@§ ③ Monitor & Controller : Main Body에 장착되어 있으며 측정조건 @§Setting, 측정데이터 저장 및 분석, 장비 콘트롤을 담당하는 장치@§@§ㅇ 동작원리@§ - 측정조건을 입력@§ - 장비의 Stage위에 Pad를 올려 놓고 Vaccum Chuck을 이용하여 웨이퍼를 @§집은 후 Pad위에 올려놓은 다음@§ - Slurry를 Pad와 Wafer 사이에 공급@§ - Vaccum Chuck과 Pad가 반대방향으로 회전하면서 Wafer 표면을 연마@§ - Wafer 표면연마 데이터를 분석하여 CMP 특성을 측정 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제9024호에는 “재료(예 : 금속·목재·직물·종이·프라스 틱)의 경도·항장력·압축성·탄성 또는 기타 기계적 성질의 시험용 기 기”가 분류되며 - 동해설서에서 “이 호에는 금속·목재·콘크리트·섬유 및 직물·지 또 는 판지·고무·플라스틱·피혁등 각종재료의 경도·탄성·항장력·압축 성 또는 기계적 성질을 시험하는 광범위한 기기가 분류된다. ... 이 호의 기기는 일반적으로 공장 또는 연구실에서 제품(보통 주의깊게 선택된 시 료 또는 표준시료)의 검사에 사용되며, ...... 이 기기에는 수톤의 중량 을 갖는 대형의 기계식·전기식 또는 액압식의 장치로 부터 휴대식 또는 포켓형에 이르는 소형의 것까지 있다. ..... ”라고 해설하고 있음. ㅇ 따라서, 질의물품은 Wafer의 연마과정상의 특성과 기타 여러재료의 기 계적 특성 등을 시험하는 장비로 통칙1 및 6에 의거 HSK9024.80-9090호에 분류함. |
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