| 참조번호 | 품목분류과-105886 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-11-07 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8543.30-0000 |
| 품명 |
Wafer Bump Plater System ; POSFER300 ; 10cup type for 300mm silicon Wafers |
| 물품설명 | ㅇ 구성요소별 기능@§ - ①Loader/Unloader : Wafer를 In/Out하는 장치, 로봇팔에 의해 자동@§으로 작동@§ - ②도금부 : 전기전극을 이용하여 도금하는 장치로 구리·니켈·금의 @§도금부는 BATH로 구성@§ - ③Chemical 공급장치 : 도금액을 공급하는 별도의 장치로 캐비넷 형@§태로 펌프와 함께 구성되어 있음@§ - ④수세부 : 도금 전후 웨이퍼 표면에 묻어있는 이물질이나 도금액을 @§DI water를 이용하여 세척하고 Spin방식으로 건조하는 장치@§ - ⑤Control부 : 설비의 전체적인 가동을 제어하는 장치(PC를 이용하@§여 Control)@§ ㅇ 도금순서 및 작동원리@§ - 웨이퍼가 담긴 FOUP을 Loader부에 장착하면, Robot Arm에 의해 Wafer@§를 전처리수세부를 거쳐 도금부로 이송함@§ - 도금부에선 Wafer를 진공흡입하여 고정한 후 Wafer에는 Cathode(음@§극)를 도금액(구리, 니켈, 금)에는 Anode(양극)를 인가하여 전기도금함@§ - 도금부에서는 당해 단계의 도금이 완료되면 Wafer를 세정한 후 다음 @§도금단계의 도금을 하고 최종적으로 도금이 완료되면 SRD(Spin Rinse Dry)@§한 후 Unloading함@§ ㅇ 용도@§ - 300mm용 Silicon Wafer의 전기도금장비@§ - 월간 약 3,400매의 웨이퍼 도금 가능(하루 22시간 25일 가동시) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제16부 주3은 “2가지 이상의 기계가 함께 결합되어 하나의 완전한 기계를 구성하는 복합기계와 ···· 이들 요소들로 구성된 단일 의 기계로 분류하거나 주된 기능을 수행하는 기계로 분류한다.”고 규정하 고 있고 - 동 규정에 대한 해설서는 총설 (Ⅵ)복합기계에서 “ ···· 서로 다른 종류의 기계류가 하나의 기계로 결합되어 있거나 다른 기계위에 장치 되었거나 또는 동상·동일 후레임 또는 동일 하우징속에 장치되어 있는 경 우에는 일체 구조로 함께 결합된 것으로 취급된다. ···· ”라고 규정 하고 있음. ㅇ 한편 관세율표 제8543호에는 “기타의 전기기기(이 류의 다른 호에 분 류되지 아니한 것으로서 고유의 기능을 가진 것에 한한다)”가 분류되며 - 제8543.30소호에는 "전기도금·전기분해 또는 전기영동용기기“를 분 류하도록 규정하고 있음 ㅇ 본 물품은 ①Loader/Unloader, ②도금부, ③Chemical 공급장치, ④수 세부, ⑤Control부가 일체 구조로 함께 결합된 복합기계로서 실리콘 웨이 퍼를 전기도금하는 역할을 하는 기기이므로 통칙 1에 의거 HSK 8543.30- 0000호에 분류함 |
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