| 참조번호 | 품목분류과-105789 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-10-24 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | HSK8419.50-9000 |
| 품명 | Heat Exchanger ; AMAT-0 ; USA |
| 물품설명 | ㅇ 기능 및 용도@§ - 반도체 CVD장비의 챔버에 사용하며, 챔버의 Process진행시 내부온도@§(400℃)로 인한 챔버바디의 온도상승으로 발생할 수 있는 장비의 손상을 막@§기위해 챔버바디를 거쳐 상승된 DI Water를 다시 60℃의 온도로 낮추어 주@§는 역할을 수행 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 반도체 CVD장비의 챔버의 내부온도(400℃) 상승으로 발생할 수 있는 장비의 손상을 막기위해 챔버바디를 거쳐 상승된 DI Water를 다시 60℃의 온도로 낮추어 주는 기능을 수행하므로 가열, 조리, 냉각 등 온도 변화에 의한 방법으로 재료를 처리하는 기계 중 기타의 열교환기로 보아 HSK 8419.50-9000에 분류<통칙1 및 6> |
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