| 참조번호 | 품목분류과-105367 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-09-09 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | HSK8424.89-9000호에 분류한다. |
| 품명 | Dummy Decap Cleaning System ; Mercury MP |
| 물품설명 | ㅇ 기능 및 용도@§- 반도체 제조공정을 거친 Dummy Wafer를 재활용하기 위하여 액상의 @§Chemical(암모니아, 과수, 황산, 불화암모니아)을 분사하여 Wafer 표면에 @§있는 막질을 제거 및 세척@§* Dummy Wafer : 반도체 제조공정시 안정적인(균일한) Process를 진행하기 @§위하여 Lot(25매) 제일 가쪽이나 빈 곳을 채워주는 Wafer로 Test Wafer 등 @§특성에 맞지 않는 Wafer 사용@§ㅇ 주요 구성요소별 기능@§- Process Chamber : Chemical을 분사하여 Dummy Wafer 표면의 막질을 제거@§하고, 막질이 제거 되면 가열된 DI Water를 분사하여 잔류 Chemical을 세척@§한 후 고회전으로 건조@§- Canister Console : Wafer의 성분에 따른 Chemical류를 Proeess Chamber@§에 투입해 주는 장치@§- Electronic Console : 전원 및 System Control용 제어반@§- Helios Console : DI Water Heater와 Booster Pump로 구성되며 DI Water@§를 가열 및 Process Chamber에 투입해 주는 장치 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8424호에는 “액체 분사용의 기기”가 분류되는 것으로 규정 하고 있는 바, ㅇ 본 물품은 반도체 웨이퍼가 아닌 Dummy 웨이퍼를 그 대상으로 액상의 Chemical 등을 분사하여 세척하는 기기로 기타 액체 분사용의 기기에 해당 하므로 HSK8424.89-9000호에 분류한다. |
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