| 참조번호 | 품목분류과-104643 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-06-24 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8516.80-0000 |
| 품명 |
ㅇ 품 명 : Heater block ㅇ 모 델 : Novellus Sequel ㅇ 형 태 : Notched, Non-notched type ㅇ 규 격 : 직경 800mm원형(6″, 8″ 실리콘 웨이퍼용), 중량 75㎏ |
| 물품설명 | ㅇ 개요 : 전기에너지를 열에너지로 변환하여 균일한 온도를 전달하는 기@§기@§ㅇ 기능 및 용도@§ - 반도체 실리콘 웨이퍼상에 박막을 생성하는 박막증착장비(CVD; @§chemical vapor deposition)에 사용되어 온도(열) 전달하는 장치로 CVD의 @§핵심요소임@§ - CVD의 전기콘트롤러로부터 전기를 공급받아 정해진 온도(약 400℃)의 @§열을 발생하여 실리콘 웨이퍼에 열을 전달함@§ㅇ 구성요소@§ - 알루미늄 블록 : 히터 전체를 구성하는 본체로서 히터 열선에서 발생@§하는 적정온도의 열을 유지 보존하면서 반도체 실리콘 웨이퍼상에 박막 증@§착에 필요한 온도(약 400℃)를 전달하는 장치@§ - 인코넬 히터(Inconel heater) : 알루미늄 블록 내부에 일정한 배열로 @§심어져 용접으로 고정되며 전기 인출 단자로부터 전기에너지를 받아 열로 @§바뀌어 균일한 온도를 블록에 전달하는 장치@§ - 전기 인출단자 : 인코넬 히터 양쪽 끝에 장착되어 본체와는 전기적 격@§리를 위해 중간에 세라믹 절연물을 사용하고 인코넬 히터에 전기에너지를 @§공급하는 장치@§ - 히터지지블록 : 히터블록 전체를 CVD챔버 내부에 안전하게 장착하기 @§위해 3개로 구성되어 본체 하단에 부착된 것임. |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 반도체 실리콘 웨이퍼상에 박막을 형성하는데 있어 균일한 온도(약 400℃)를 공급하는 기기로서, - 알루미늄 블록, 인코넬 히터(니켈 합금된 열선), 전기인출단자, 히터 지지블록으로 구성된 것임 ㅇ 관세율표 제8516.80호에 ‘전열용 저항체’가 특게되어 있으며, - 동해설서에는 “①탄소의 전열저항체(제8545호)를 제외하고 모든 전열 저항체는 그것이 사용되는 기기의 분류에 관계없이 이 호에 분류된다. ② 전열저항체는 전류가 흐를 때에 고온이 발생되는 특수재료의 봉·판 등 또 는 일정한 길이의 선(보통 코일상으로 되어 있다)으로 구성되어 있다. ③ 저항체는 어떤 특정기기에 전용되는 것이라 할지라도 이 호에 분류된다. 다만, 간단한 절연체 및 전기접속부분 이외의 부분품과 함께 조립되어 있 는 경우에는 그 기기의 부분품으로서 분류된다”라고 규정하고 있음. ㅇ 본 물품은 전열저항체에 전기 인출단자, 지지블록을 결합한 Heater Block으로 관세율표 제8516.80호 및 동해설서에서 규정하고 있는 전열용 저항체에 적합하므로 통칙1호에 의거 K8516.80-0000호에 분류함. |
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