| 참조번호 | 품목분류과-104495 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-06-15 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | HSK8479.90-3010 |
| 품명 | ASSY Heater ; 200mm WxZ Ceramic Ring ; Part No : 0010-04542 |
| 물품설명 | ㅇ 주요 구성요소@§ - Heater block : 전열용 저항체(Heating element)를 내장하고, Ar가@§스 공급용 Edge hole(6개의 60° 방사선 hole)과 Back side hole(중앙 @§hole)을 가지고 있고, 하부 외측에 깃을 가진 Aluminium Nitride 재질의 @§원형 절연 plate block과@§ - Base Pole : 전열용 저항체 전원공급 접속단자, 온도센서(온도감지장@§치) 및 Thermocouple & wire를 내장하고, MFC(가스유량조절장치)에서 공급@§되는 Ar gas를 절연 Heater block으로 공급하는 2개의 Tunnel을 가진 @§Aluminium제 원통형 base가 T자형으로 영구결합된 복합구조물@§@§ ㅇ 기능@§ - Heater Block : 전원이 공급되면 내장된 저항체의 발열로 block이 가@§열되어 증착노 내의 온도를 상승시킴@§ - Edge hole : Wafer에 절연막(film)이 증착되는 동안 증착 가스로 인@§해 Wafer 뒷면에 막(film)이 증착되는 것을 방지하기 위하여 Ar가스를 분@§출하여 증착 가스를 밀어냄@§ - Back side hole(중앙홀) : Wafer에 전달되는 온도가 항상 일정하게 @§유지되도록 하고, 분출되는 Ar가스의 부력에 의하여 Heater block과 Wafer@§가 직접 접촉되는 것을 방지@§ - 전원공급단자 : Heating element(전열용 저항체)에 전원 공급@§ - 온도센서 : Heater Block의 온도 감지 @§ - Thermocouple & Wire : 온도센서에서 감지된 열을 전기에너지로 변환@§하여 자동온도조절장치에 전달 @§ - Tunnel : MFC와 Regulator(자동조절 valve)에서 공급되는 Ar가스를 @§일정한 압력에 의하여 Heater block내의 hole로 이송 @§ - 외측 깃(세라믹 링) : Edge Hole에서 분출되는 Ar가스 확산시 공기 @§부력을 일정하게 유지하여 Wafer가 수평하게 균형을 이루고, Ar가스가 @§Heater block 위에 정밀하고 고루 확산되도록 함@§ ㅇ 용도 @§ - 반도체 제조용 wafer 막(film) 증착(형성)로 내부 아래쪽에 장착되도@§록 특수 설계 제작된 물품으로@§ - Wafer 증착로(爐)의 가열과 노안의 고온 공기순환으로 증착 Gas 입자@§가 고루 분산되도록 하며, Wafer상에 막(film)이 균일하고 정밀하게 형성@§되도록 Wafer표면의 적정온도와 수평을 유지하면서 heater block과 직접적@§인 접촉을 방지하고, Wafer 뒷면에 절연막(film)이 증착되는 것을 방지 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표 제8516호는 “전기식의 즉시식 또는 저장식 물가열기와 투입 식 가열기, 난방기기와 토양가열기, 전기가열식의 이용기기(예 : 헤어드라 이어·헤어커얼러·커얼링통히터), 손건조기, 전기다리미, 기타의 가정용 전열기기 및 전열용 저항체(제8545호의 것을 제외한다)”를 규정하고 있고 - 동 호에 대한 관세율표해설서는 ‘(F)전열저항체’에서 “탄소의 전 열저항체(제8545호)를 제외하고 모든 전열저항체는 그것이 사용되는 기기 의 분류에 관계없이 이 호에 분류된다. ···· 전열저항체는 전류가 흐 를 때 고온이 발생되는 특수재료의 봉·판 등 또는 일정한 길이의 선(보 통 코일상으로 되어 있다)으로 구성되어 있다. ···· 저항체는 어떤 특 정기기에 전용되는 것이라 할지라도 이 호에 분류된다. 다만, 간단한 절연 체 및 전기접속부분 이외의 부분품과 함께 조립되어 있는 경우에는 그 기 기의 부분품으로서 분류된다(예 : 아이론용 base plates 및 전기요리용 plate)”고 규정하고 있음 - 한편, HSK8479.89-2020호는 반도체 제조용의 기기로서 “웨이퍼상에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기계”를 규정하고 있고, 동 기계의 부 분품은 HSK8479.90-3010호에 분류됨 ㅇ 본 물품은 ①전열용 저항체(Heating element)를 내장하고, Ar가스 공 급용 구멍, 깃(세라믹 링)을 가진 Aluminium Nitride 재질의 원형 절연 plate block과 ②전원공급단자, 온도센서 및 Thermocouple wire를 내장하 고, Ar가스공급용 Tunnel을 가진 Aluminium제 원통형 base가 T자형으로 영 구결합된 형태이며 - 반도체 제조용 wafer 막(film) 증착(형성)로 내부 아래쪽에 장착되 어 Wafer 증착로(爐)의 가열과 노안의 고온 공기순환으로 증착 Gas 입자 가 고루 분산되도록 하며, Wafer상에 막(film)이 균일하고 정밀하게 형성 되도록 Wafer표면의 적정온도와 수평을 유지하면서 heater block과 직접적 인 접촉을 방지하고, Wafer 뒷면에 절연막(film)이 증착되는 것을 방지하 는 물품으로 - 제8516호에 대한 관세율표해설서에 전열용 저항체가 간단한 절연체 및 전기접속부분 이외의 부분품과 함께 조립되어 있는 경우에는 그 기기 의 부분품으로서 분류된다고 규정하고 있으므로 본 물품을 제8516호의 전 열용 저항체로 분류할 수 없고 장착되는 기계의 부분품으로 분류하여야 함 - 따라서 본 물품은 관세율표의해석에관한통칙 1, 제16부 주2.나.에 의 거HSK8479.89-2020호의 ‘웨이퍼상에 막을 형성하거나 금속을 증착하는 기 계’의 부분품을 분류하는 HSK8479.90-3010호에 분류함 |
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