| 참조번호 | 품목분류과-103375 |
|---|---|
| 시행일자 | 2005-03-07 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 장비는 HSK9031.49-9090호에, 소프트웨어는 HSK8524.31-1000호에 분류함 |
| 품명 |
박막두께측정장비(Thin Film Thickness Measurement System : Spectra Thick 7000) |
| 물품설명 | ㅇ 구성요소@§ -시스템본체@§ -광학부 및 샘플위치부 : Sample Autostage, 측정용 가시광원, XY-@§Autostage Control Box@§ -소프트웨어@§ㅇ 광파신호 경로@§ -특정파장의 가시광원 ⇒ 박막입사 ⇒ 각 경계면 반사 ⇒ CCD(광위치 검@§출기) ⇒ A/D변환기 ⇒ PC ⇒ Software@§ㅇ 측정원리 및 용도@§ -박막에 입사된 빛의 일부는 박막면에 반사되고 다른 일부는 기판간의 경@§계면, 그리고 다중박막의 경우 박막간의 경계면에서 반사된다. 이들 반사@§파들은 CCD에서 집광되며, 박막두께와 굴절률에 따라 각 픽셀별로 광량분@§포가 달라지기 때문에 측정값에 편차가 생기며, 서로 간섭현상을 보여 Sin@§형상, 혹은 골짜기만 있는 형상 등 파장영역에서 특별한 스펙트럼분포를 @§보이게 된다@§ -박막의 두께와 굴절률을 바꾸어 가면서 이미 계산된 스펙트럼을 측정된 @§스펙트럼에 피팅하여 박막의 두께를 측정함. @§ -용도는 PDP박막두께 측정에 사용 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 박막에 입사된 각각 다른 반사파를 CCD로 집광하여 생긴 간 섭스펙트럼에 박막의 두께와 굴절률을 바꾸어 가며 이미 계산된 스펙트럼 을 피팅하여 박막의 두께를 측정하는 장비임 ㅇ 관세율표 제9031호에는 “기타의 측정 또는 검사용의 기기(이 류의 다 른 호에 분류되지 아니한 것에 한한다.)”가 분류되며 -제9031.49소호에는 “기타의 광학식의 기기”가 분류되며, 동소호해설서 에서 “이 소호에는 사람의 시력에 직접 도움을 주거나 또는 시력을 향상 시키는 기기뿐만아니라 광학적인 요소의 사용 또는 과정을 통해 기능하는 기타 기기도 분류한다.”라고 해설하고 있음. ㅇ 따라서, 본 물품은 광선의 간섭현상을 이용하여 박막의 두께를 측정하 는 장비로 HSK9031.49-9090호에 분류하며, 소프트웨어는 제85류 주6의 규 정에 의거 HSK8524.31-1000호에 분류한다. |
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