| 참조번호 | 품목분류과47281-136 |
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| 시행일자 | 2003-12-30 |
| 시행기관 | 관세평가분류원 |
| 결정세번 | 8514.90-1010 |
| 품명 | Electric furnace parts; Pedestal heater; For CVD electric furnace |
| 물품설명 | 반도체 제조공정중 CVD 공정장비의 Heating chamber에 장착되어 사용되는 것으로서 일정온도(450도)까지 가열하고 이를 지속적으로 유지시키기 위한 발열판 기능을 하는 물품으로서 ①히터 플레이트(웨이퍼를 올려놓고 히팅을 하기 위한 플레이트로 실제 발열체임), ②샤프트(히터 플레이트 지지 및 진공파이프와 Power Rod를 보호),③Power rod(히터 플레이트의 Power 단자에 연결되는 부위로서 Power 공급역할)④진공파이프(진공을 이용 웨이퍼를 잡아당김),⑤가스체널(아르곤 가스를 오염으로부터 보호),⑥T/C 홀(온도조절 센서가 장착됨)등으로 구성. |
| 결정사유 | 제시된 자료에 따르면 본건 물품은 전열저항체가 내장된 세라믹제의 웨이퍼상의 판(plate)위에 상기 물품 설명에 기술된 바와 같이 HS 8516호의 전열저항체에 대한 설명에 기술된 단순한 절연체 및 전기접속부분의 범위를 벗어나는 부품들인 샤프트, 진공파이프 등이 함께 조립되어 있는 물품이므로 16부 주 2 “b"의 규정에 의거 CVD장비의 Heating Chamber 부분품이 분류되는 HS 8514.90-1010호에 분류함. |
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