| 참조번호 | 품목분류47281-947 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-09-29 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9031.49-9090 |
| 품명 | 3D Profilling System(비접촉 3차원 미세형상측정기) ; Interscan SIS Series ; SIS-1200A, SIS-2000 |
| 물품설명 | ㅇ 반도체웨이퍼, 금속, 고분자섬유, PCB등 정밀분야의 형상을 비파괴측정법(Non-destructive measurement)으로 미세형상 및 표면거칠기, surface profile 등을 3차원으로 측정하는 장비 |
| 결정사유 |
ㅇ 3차원영상 재현방식은 물체의 밝고 어두운 정도를 나타내는 진폭과 물체의 위치를 나타내는 위상을 이용하여 3차원영상을 재현2차원을 표시하는 사진은 물체의 밝고 어두운 진폭만 표시하며 물체의 위치를 표시하는 위상을 표시하지 못함
함. 즉, 물체파와 기준파의 빛의 간섭현상을 이용한 진폭과, 두개의 다른 광시간차에 의한 위상차로 3차원영상을 측정 ㅇ 이러한 진폭과 위상차를 이용하여 측정대상체의 미세표면을 측정하기 위해 3차원영상으로 측정하는 방식은 빛의 양의 측정 또는 검사용의 기기에 해당된다고 할 수 없으며 ㅇ 9031호해설서에서는 본호에 분류되는 물품으로 광파간섭계, 광학식표면검사기, 윤곽투영기 등을 해설하고 있는 바, 본 품은 각종 기계의 부분품을 광원을 이용하여 3차원적으로 측정하는 타호에 분류되지 않는 기타의 측정, 검사용장비이므로 HSK 9031.49-9090호에 분류한다. |
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