| 참조번호 | 품목분류47281-947 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-09-29 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8479.89-9050 |
| 품명 | Roll To Roll Sputter System ; CRRS-M0-2 |
| 물품설명 |
ㅇ 기능
- PET Film, Textile 등의 위에 Sputtering에 의해 ITO, 금속 등의 박막을 증착하는 기기 * ITO(Indum Tin Oxide) : 인듐과 주석의 산화물로 투명하면서 전기전도성이 있어 광학 및 전기 전자 부품 등에 활용되고 특히 영상소자의 전극에 많이 사용 <측면 단면도> ㅇ 생산제품의 적용분야 - Touch panel용 ITO Film - Mobile Phone Case용 등의 EMI (Electromagnetic interference, 전자파 장애) 차폐용 Film - 각종 Display(projection TV, PDP등)용의 Anti-Reflection(반사방지) /Anti-Static(대전방지) Film - 자동차 전면유리용 열 차단 Film - 윈도우용 투명 자외선/적외선 차단 Film - 유리강화 안전방범(Glass guard) Film - 금도금 차폐섬유 ㅇ 구성요소별 기능 - Pumping Part Chamber내부를 진공상태로 만들기 위한 역할 수행 - Winding Part 각종 Roll들로 구성되며 각 Roll들 사이에 적절한 Web Tension과 Line Speed로서 PET Film 등을 공급하고, ITO등의 박막이 코팅된 Film을 되감아 주는 역할 - Pre-treatment Part(DC Bombardment unit) Film표면에 Ar 양이온을 충돌시켜 불순물, 수분 등을 제거하여 증착물질의 접착성을 증대시키는 역할 - Deposition Part 진공중에서 음으로 대전된 Cathode쪽의 ITO 등의 Target을 플라즈마상태의 Argon Gas 양이온이 강하게 때려서 원자단위로 뜯어내고 이 원자들이 PET Film 등의 표면에 증착 - Post-treatment Part(RF Bombardment unit) 증착공정 후 이송되는 ITO Film 등의 표면을 이온들이 때려서 다지는 역할 - Measurement Part ?진공측정 : Chamber내부의 진공도를 측정하여 공정을 가능하게 하여 줌 ?Film특성-정 : 증착된 ITO Film등의 표면저항과 투과율의 변화를 실시간으로 볼 수 있게 하여 줌 - Electrical Control Part 장비의 구동을 전기적으로 제어 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 기존에 제8479호로 분류결정된 바 있는 Sputter 장치와 동일한 "sputtering" 원리를 이용하는 것이므로 제8479호에 분류되는 물품임
- 진공중에서 음으로 대전된 Cathode쪽의 ITO Target을 플라즈마상태의 Argon Gas 양이온이 강하게 때려서 원자단위로 뜯어내고 이 원자들이 PET Film의 표면에 증착되는 것임 ㅇ 다만, 증착의 대상이 Wafer(반도체 제조용)나 Glass(평판디스플레이 제조용)가 아니라, PET Film, Textile 등의 대상재료에 ITO, 금속 등의 여러 가지 물질을 증착하는 기기로 반도체 제조용(8479.89-20) 또는 평판디스플레이 제조용기기(8479.89-30)로는 분류할 수 없음 ㅇ 본품이 수행하는 증착[Deposition]기능이 HSK8479.89-90의 코팅[Coating]머신(도포기)에 해당되는지 여부를 살펴보면, - Webster사전에서 Coat는 "to cover with a layer of one substance covering another"로 Deposit는 “to let fall (as sediment, 침전물)”이라고 기술하고 있어 그 의미의 정확한 비교가 곤란하지만, - Atomica사전에서는 Deposit를 “A coating or crust left on a surface, as by evaporation or electrolysis"이라고 그 용어의 정의 중 하나로 기술하고 있음 ㅇ 따라서, 본 물품은 Sputtering의 원리에 의거 PET Film, Textile 등의 위에 ITO, 금속 등의 박막을 Coating하는 것에 해당하는 것이므로 코팅머신(도포기)으로서 HSK8479.89-9050호에 분류한다. |
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