| 참조번호 | 품목분류47281-619 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-07-09 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9031.49-9090 |
| 품명 | Other Optical instruments and appliances ; CD Meter ; ZA- 2000HDS |
| 물품설명 |
ㅇ TFT LCD제조공정에서 LCD Glass상에 형성된 패턴과 칼라필터의 선폭을 측정하는 장비
- Wet etching후 유리의 패턴길이를 측정하여 금속막의 식각정도를 확인, 그 변화량을 일정주기로 관찰하여 이상발생시 타공정 및 설비에 의한 불량발생 유무를 조기에 감지할 목적으로 사용 ㅇ 장비는 광학현미경과 CCTV카메라 장치가 조합되어 있어 미세한 물체의 치수를 접촉하지 않고 비교 측정하도록 제작된 장치로 측정포인트 영상으로부터 임의의 슬라이스 레벨로 EDGE 검출을 하고 EDGE간의 화소수와 미리 입력되어 있는 기본치수값과 비교하여 선폭을 측정하는 장치 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 기기의 측정부는 광학현미경, CCTV카메라(확대, 측정부 촬영등)로 이루어지고 있으며
ㅇ 주기능 여부에 있어서 광학현미경으로 본다는 견해가 있을 수 있으나 ㅇ 선폭측정 등을 위한 화상처리(image processor)방법에 의한 이미지프로세서의 기능은 9011해설서“이 호의 광학현미경은 이미 확대된 물체의 상을 관찰하기 위하여 다시 제이단계의 확대를 행하는 기구가 갖추여져 있다”에서 말하는 확대이상의 기능에 해당됨 - 광학현미경은 대물렌즈(개구수)와 접안렌즈간의 조합에 의하여 제이단계의 확대를 행하는 방식의 기기이며, - 물체의 상을 확대하는 원리는 대물렌즈에 의하여 얻어지는 확대 도립실상(倒立實像)을 접안렌즈로 다시 확대(2단계 확대)하여 상을 보는 기기이나 - 본 기기는 2단계의 확대를 행한 상에 대한 데이터를 이미지프로세서에 의하여 선폭을 측정하는 기능으로 이러한 기능은 광학현미경이상의 기능에 해당됨 ㅇ 따라서, 본 품은 사람의 시력에 직접 도움을 주거나, 광학적인 요소의 사용 또는 과정을 통해 검사하는 기기이므로 HSK9031.49 -9090호에 분류한다. |
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