| 참조번호 | 품목분류47281-619 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-07-09 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8479.89-3090 |
| 품명 | Machines and mechanical appliances for making flat panel displays ; PECVD ; ATK-4300A, 3500, 1600, 5500 |
| 물품설명 |
ㅇ 고진공쳄버내에서 LCD유리기판위에 SiNx, a-Si등의 박막을 형성하는 장비로서 PECVD방식임
ㅇ 진공의 쳄버내에 반응가스를 주입한 후 RF를 인가하여 해리된 가스이온을 이용하여 LCD유리기판위에 박막을 형성 |
| 결정사유 |
ㅇ 본기기는 진공쳄버내에서 반응가스를 주입한 후 RF를 인가하여 해리된 가스이온을 이용하여 LCD유리기판상에 박막을 형성하는 장비로(이온방식으로 온도의 변화에 의한 방법으로 재료를 처리하는 기계가 아님)
ㅇ 8456호는 이온빔에 의하여 재료를 제거하는 방식이나 본 기기는 이온에 의한 방법으로 박막을 형성하는 기기이므로 본호에 분류될 수 없음 ㅇ 따라서, 본 기기는 8479호의 기타의 평판디스플레이제조용기기로 HSK8479.89-3090호에 분류한다. |
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