| 참조번호 | 품목분류47281-619 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-07-09 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8456.99-9000 |
| 품명 |
Machines-tool for working any material by removal of
material, by plasma arc ; Dry Etch ; SE-series |
| 물품설명 |
ㅇ 고진공 Process Chamber내에서 주로 a-Si, SiNx 증착막을 식각하는 제조장치
ㅇ 진공상태의 Dry Etcher내에서 Process Gas 및 RF고주파인가로 Plasma 방전을 이용하여 Glass위의 증착막을 식각함 |
| 결정사유 |
ㅇ 본기기는 미세패턴형성을 위해 높은 에너지의 RF장으로 부터 플라스마상태를 만든 후, 플라스마장의 에너지는 용기내의 가스분자를 높은 에너지준위로 여기시켜 증착막과 반응시켜 Glass위의 증착막을 식각하는 장비로
ㅇ 8456호해설서의 플라스마등을 이용하여 약정된 공구로 재료를 제거하는 플라스마 건식식각장비로 HSK8456.99 -9000호에 분류한다. |
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