| 참조번호 | 품목분류47281-619 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-07-09 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9010.50-2000 |
| 품명 | Apparatus for the projection or drawing of circuit patterns on sensitised flat panel display substrates ; Exposure Machine ; MAT-6520 |
| 물품설명 |
ㅇ PDP 제조공정중 패턴형성을 위하여 포토마스크에 그려진 패턴을 포토레지스트 또는 Dry Film이 형성된 유리위에 자외선(UV)으로 노출시켜 패턴을 형성시키는 노광기
※PDP 적용 공정 : 라미네이터(인쇄 → 건조) → 노광 → 현상 → 소성 2) 기기구조 <1. 광학시스템> ①초고압수은등 : 램프의 유리구는 용융 석영이고 전극부는 텅스텐 합금으로 구성되어 있으며, 램프내 기체는 아르곤 등의 혼합기체로 이루어져 있다. 수은등 램프의 내부기압은 점등되지 않은 상태에서 1 기압이며 점등된 후에는 30 기압 이상의 고압으로 된다. ②Lamp House : 초고압 수은등에서 발생한 열을 감소시키기 위한 냉각부 및 램프 교환 후 발생할 수 있는 위치 이상을 교정할 수 있는 위치 조절 기구로 이루어져 있다. ③집광경 : 파이렉스가 주성분인 Glass로 이루어져 있다. 초고압 수은등에서 나오는 빛을 노광대로 보내주기 위해 일차적으로 모아주는 역할을 한다. ④1차평면 Mirror : 용융 석영(Fused Quartz) 재질의 Multi Dielectric Mirror이다. 평면경(flat mirror)이므로 집광경에서 모아준 빛의 경로를 바꾸어 주는 역할을 하며, 표면에 코팅 처리를 하여 적외선 등 열선은 투과시키고 자외선 i, h, g선의 단파장은 반사시키는 Cold mirror이다. ⑤셔터(Shutter) : 코팅하지 않은 알루미늄 재질로 이루어져 있으며 광에 닿는 면적을 크게 만들었다. ⑥ Integrating Lens부 (Fly-eyes Lens) : 입사된 빛을 굴절하여 렌즈 전면에서 허상의 광원을 형성, 마치 여러 광원에서 빛을 방출하는 것처럼 만들고 이 빛을 모아 빛의 세기를 균일하게 만들어 조도 균일도를 높이는 역할을 한다. ⑦2차 평면 Mirror : Integrating Lens부에서 확대된 빛을 요면경까지 도달하도록 경로를 변경시켜주는 역할을 한다. 역시 표면에 코팅 처리가 되어 있어서 최종적으로 적외선 등의 열선을 투과시키고 자외선 만을 반사하는 평면 Cold Mirror이다. ⑧ 대형요면경 : Integrating Lens에서 확대된 빛이 2차 평면 Mirror에 의해서 반사되면 이 빛은 여전히 확대되어 퍼져 나가는 성질을 갖는다. 요면경은 이 빛을 모아서 평행화시켜 반사 MIRROR로 보내주는 역할을 한다. <2 Mechanism > ① Mask 교환장치 : 기종별 Photo Mask 자동 교환이 가능하도록 구성됨. ② Alignment Stage부 : AUTO Alignment하기 위한 X,Y,θ Table 구동이 가능하도록 구성됨. ③ Vision부 : Alignment 정밀도, ±5㎛ 이내에서 Align이 가능함. ④ Mask Holder : 노광 시 Mask를 취부하는 기능을 수행함. |
| 결정사유 |
ㅇ 분류가능한 경합세번인 9006호에 분류되는 기기는
- 디지털형식을 레이저 빔을 사용하여 감광성필름위에 인쇄회로기판의 잠상(인쇄회로기판을 제작하는 데 사용됨)으로 변환시키는 레이저포토플로터{9006호해설서(14) : HS9006.59} - 사진방법에 의하여 인쇄제판용에 사용되는 기기로 디지털형식을 레이저빔을 사용하여 감광성필름위에 잡상으로 변환시키는 레이저포토플로터로 이미지 복제를 위하여 R·G· B신호를 래스터데이타로 변환하는 기기{9006호해설서(15)(ⅳ) ; HS9006.10}들이 9006호에 분류되나 ㅇ 본품은 인쇄제판 및 인쇄회로기판에 사용되는 기기가 아니므로 9006호에 분류될 수 없음(9006호해설서 참조) ㅇ 따라서, 본기기는 P·R(Dry Film)이 도포된 평판디스플레이용 유리기판에 자외선으로 패턴을 형성(R·G·B)하는 기기로 HSK9010.50-2000호에 분류한다 |
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