| 참조번호 | 품목분류47281-456 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-06-02 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9013.80-9000 |
| 품명 | Light Source ; Parts for Coater Developer System |
| 물품설명 |
구성 및 기능
- 반도체 제조용 도포·현상기를 구성하는 WEE(Wafer Edge Exposure) Unit의 광원발생 장치(Light Source)인 Lamp House 부분으로로서 반사거울, 램프홀더(수은램프), 조리개, 셔터 등으로 구성되어 있음 - Light Source에서 생성된 빛은 반사거울을 통해 집광되고 광 Fiber를 통해 하단의 WEE부분으로 전달 ⇒ 동 광원 발생장치는 Wafer에 Pattern을 노광시키기 위한 것이 아니라 Wafer 가장자리 부분에 발생할 수 있는 불필요한 Particle을 제거하기 위하여 UV를 조사하는 것임 ※ Wafer Edge Exposure(WEE) Unit란 Wafer의 가장자리(Edge)에 발생할 수 있는 Particle의 발생을 방지하기 위하여 포토레지스트(Photo-resist)가 도포되어 있는 Wafer Edge에 자외선을 조사한 후 현상하는 것으로써, 크게 Lamp house부분과 WEE부분으로 나뉘어 지며, 본 Light source는 Lamp house(광원발생)부분임 |
| 결정사유 |
ㅇ 쟁점물품은 반도체 제조공정 중 Wafer의 현상과정에서 불필요한 Particle을 제거하기 위하여 가장자리 부분에 빛을 조사하는 WEE Unit의 광원발생 장치로서 광원(수은램프)에서 만들어진 광을 집광해서 광 Fiber를 통해 WEE부분에 전달해 주는 기능을 수행하는 것으로,
ㅇ 제16부 주1 타에서 "제90류의 물품은 이 부(16부: 84류, 85류)에서 제외한다"라고 규정하고 있는 바, - 동 물품은 Wafer의 Edge(가장자리)에 조사할 빛(광원)을 생성, 집광해서 광 Fiber을 통해 전달하는 제90류의 광학기기에 해당되므로 제16부의 부분품 호에 분류할 수 없음. ㅇ 따라서 기타의 광학기기로서 HSK9013.80.-9000호에 분류함이 타당함. |
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