| 참조번호 | 품목분류47281-306 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-04-09 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8466.93-1000 |
| 품명 |
미완성 건식 식각기 ; EMAX Chamber with Std.
Accessary(Centura 5200) |
| 물품설명 |
□ 기능 및 용도 : 기존 식각기의 Up-grade를 위하여 주요부품이 수입됨, 식각기는 웨이퍼에 회로패턴을 형성하기 위해 반응성가스를 진공 Chamber내에 주입하고 RF 파워를 인가하여 플라즈마를 형성시켜 웨이퍼상의 산화 절연막을 물리적 또는 화학적 작용에 의해 선택적으로 제거하는 기기임
□ 완성품 대비 수입제시된 물품의 구성요소 및 기능 식각기의 완성품은 Main Frame, System Controller, RF Generator, Chiller, Dry Pump로 구성되며, - Main Fram은 다음과 같은 요소로 구성 ·Transfer Module(Loadlock Chamber, Transfer Chamber, Orienter Chamber) ·Process Chamber(Chamber, Turbo Molecualr Pump, RF Match, End Point Detect) ·Gas Panel 완성품중 수입제시된 부분(가격대비 61%)은 - Process Chamber 3EA, - Gas Panel중 Gas 공급라인, Gas 공급조절장치 - System Controller중 Process Chamber 제어용 Interface Board등 일부 - RF Generator 3EA 나머지 부분은 기존 설비 이용 및 국내 공급 - Main Frame중 Transfer Module, Gas Panel중 일부 - System Controller중 일부 - Chiller[Heat Exchanger] 3SET - Dry Pump 5EA |
| 결정사유 |
결정세번 : 완성품이 아니므로 각각 당해 호에 분류한다.
통칙2가에서 각호에 게기된 물품에는 본질적인 특성을 지니고 있는 불완전 물품이 포함되는 것으로 규정하고 있음 제8456.91호 해설서에서 건식에칭기는 일반적으로 한개 이상의 반응실, 펌프, 진공펌프, 무선주파 발생기, 기체의 흐름을 조정하는 기기, 공정을 관리하는 기기가 장착되어 있고 자동으로 웨이퍼를 loading하는 장치를 장착한 것도 있다고 설명하고 있음 본 물품의 제시상태를 보면 완성품 건식에칭기 구성요소중 Process Chamber와 RF Generator 부분만 완전한 형태로 제시된 것으로서 주공정을 수행하는 기기중 - 기체의 흐름을 조정하는 기기인 Gas panel중 실질적인 Gas의 원하는 양을 조정하는 MFC 24ea 중 Process Chamber의 교체에 따른 9ea만 제시되었고, 직접적인 개폐를 수행하는 각종 Valve가 미제시 되었고 - 공정을 관리하는 기기에 해당하는 System Controller중 컴퓨터의 CPU에 해당하는 부분인 Single Board Computer가 미제시 되었으며 - Process Chamber 내부를 진공상태로 유지시키기 위한 Dry Pump가 제시되지 않은 것임 따라서 건식에칭기에 대한 해설서 설명중 중요요소 중의 일부가 제외된 것이므로 완성품으로 취급하지 아니하고 부분품으로서 16부주2의 규정에 의거 각각 기능에 따라 당해 호 또는 건식에칭기에 전용 또는 주로 사용되는 부분품으로서 제8466.93-1000호에 분류한다. |
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