| 참조번호 | 품목분류47281-150 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-02-20 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9012.10-1090 9027.80-1000 |
| 품명 | Scanning electron microscopes;JSM-6360A, EDS integration |
| 물품설명 |
ㅇ 용도 및 기능
- SEM(약 80백만원)과 EDS(약 61백만원)가 함께 제시되었음. ·SEM은 고체시료의 미세구조, 즉 PDP내 모든 기구물 및 device등을 관찰분석하며, 배율은 최대 30만배까지 가능함. ·EDS는 SEM의 chamber(시료대가 들어있는 진공상태의 방)부위에 장착하여 사용되며, SEM이 전자선을 시료표면에 주사해서 반사되는 X-RAY를 검출하여 PDP에 이물이 들어 있거나 잘못된 조성물이 device속에 포함될 때 동 성분을 분석. - SEM은 독립적(개별적)으로 사용할 수 있으나, EDS는 chamber 부분이 없고, SEM이 시료에 주사한 결과 시료에서 방출된 x-ray의 위치와 세기로부터 구성원소와 함량을 분석하기 때문에 독립적으로 사용할 수 없고 SEM에 연결해야만 성분분석기능을 수행할 수 있음(신청자 제출 자료) ·사용례를 보면 SEM만을 사용하여 시료를 확대하여 볼 수 있으며, 성분분석까지 하고자 하는 때에는 EDS를 추가로 구입하여 SEM에 장착하여 사용함(본 건의 경우 SEM과 EDS 제작자가 각각 상이함) ㅇ 주요 구성요소 및 기능 - SEM : 고체시료의 미세 구조특성을 관찰하고 분석 · 컬럼부분 : electron gun, detector가 내재되어 있음 · 제어컴퓨터 : 전자현미경의 구동 제어 · table : 설비의 위치고정 및 진동제어 - EDS : 고체시료의 성분을 분석 · collimator assembly : 들어오는 x-ray양을 조절 · electron trap : 들어오는 x-ray를 포집하는 곳 · window : detector 내부를 볼 수 있게 만들어 놓은 창 · crystal : charge pulse를 voltage pulse로 변환 · fet : 내부에서 발생되는 전류 제어 · cryostat(저온유지장치) : detector로 들어온 x-ray 증폭 |
| 결정사유 |
ㅇ 기기분석입문이라는 책자에서는 본 건 물품의 EDS와 유사한 분석방법인 에너지분산(ED)방식의 분석방법을 "형광 X-선 분석법" 항에서 설명하고 있고,
ㅇ EDS는 SEM과 같이 사용되지만 단독 제시된 경우 SEM의 부분품이나 부속품이 아닌 별도의 분석기기로 기 분류 결정한 바 있고, ㅇ EDS는 chamber가 없어 SEM이 시료에 주사한 결과 시료에서 방출된 x-ray를 검출하여 구성원소와 함량을 분석하지만 SEM의 "현미경기능"과 EDS의 "시료분석기능"은 각각 상이한 기능이며, ㅇ SEM 구입 시 EDS를 반드시 함께 구입하는 것이 아니라 성분분석까지 필요한 경우에 option사항으로 EDS를 구입하여 SEM에 결합하여 사용하므로 별개의 물품으로 보아 각각 분리하여 해당 호에 분류하는 것이 타당함. ① SEM : HSK 제9012.10-1090호 ② EDS : HSK 제9027.80-1000호 |
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