| 참조번호 | 품목분류47281-150 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-02-20 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9030.39-9000 9030.83-0000 |
| 품명 | Instrument and apparatus for measuring or checking electrical quantities ; EPD ; End Point Detection System ; EPO-222 MPM |
| 물품설명 |
ㅇ 기능 및 용도
- EDP시스템 본체로 CMP설비패널부에 장착하거나 별도설치되는 Multi Process Monitor와 - CMP설비 내의 연마테이블인 턴테이블에 연결된 서보드라이버에 부착하여 회전하는 서보드라이버의 전류치를 감지하는 Electrical Current Sensor로 구성된 것으로 - Polishing중인 턴테이블의 전류치를 샘플링하여 파형의 평균치와 전류치의 변화(ΔV/ΔT)를 화면에 표시하는 연마종점검출기 <주요구성요소 및 요소별 기능> ①MPM(Multi Process Monitor) : 두채널의 턴테이블 전류치를 동시에 감시하여 테이블모터의 전류치변화의 특정점을 검출, 연마종료시간을 각각의 테이블별로 독립적으로 판정하여 출력함 ②Electric Current Sensor : CMP설비내의 연마테이블인 턴테이블에 연결된 서보드라이브에 부착하여 회전하는 서보 드라이버의 전류치를 감지 ※CMP(Chemical Mechanical Polishing) : 기존의 희생막의 전면 식각공정과는 달리 특정 부위의 제거 속도를 조절함으로써 평탄화하는 기술로 웨이퍼 전면을 회전하는 탄성패드(PAD)사이에 액상의 슬러리(SLURRY)를 투입하여 연마하는 기술 |
| 결정사유 |
결정세번 : 기록장치가 없는 것은 HSK9030.39-9000호에 분류하고 기록장치를 갖춘 것은 HSK9030.83-0000호에 분류한다.
ㅇ 제9030호의 용어는“전기적 량의 측정 또는 검사용의 기기”로 규정되어 있고 ㅇ 제9030호의 용어“전기적량”에 대하여 제9030호해설서(B)전압 또는 전류를, 제9032호해설서(Ⅱ)에는 볼트수, 암페어수, 주파수 및 전력을 전기적량으로 해설하고 있으며 - 제9030호해설서(?)에는 재료의 전기적특성 또는 자기적특성측정과 같은 해설서(ⅩⅢ)에는 급속히 변화하는 전기적량의 측정 및 기록하는 기기를 본호에 분류하도록 해설 ㅇ 따라서, 본 품은 턴테이블의 구동용 모터의 전류치 추이를 감시하여 Polishing도중의 전류파형(ΔV/ΔT)을 측정하는 기기로 기록장치가 없는 것은 HSK9030.39-9000호로 기록장치를 갖춘 것은 HSK 9030.83-0000호에 분류한다. |
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