| 참조번호 | 품목분류47281-150 |
|---|---|
| 시행일자 | 2003-02-20 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9012.10-1010 |
| 품명 | Electron Beam Microscopes fitted with equipment specifically designed for handling and transport of semiconductor wafers or reticles LEO 1560 |
| 물품설명 |
ㅇ 기능 및 용도
- 반도체제조공정중 웨이퍼상에 형성된 패턴의 불량분석 작업에 사용되는 고배율 전자현미경 - 전자총을 이용하여 가속전압을 발생시켜 샘플에서 발생하는 2차 전자를 받아 샘플의 표면을 표시하는 장비 <구성요소 및 요소별 기능> ① Main Unit : 전자빔을 이용하여 샘플을 관찰하는 전자현미경 ② Air Lock Unit : 메인유니트 측면에 부착되어 있고 Air Lock부에는 수동으로 작동되는 웨이퍼로더(wafer loader)가 부착되어 있음 ③ Display Unit : 전자현미경에서 관찰한 샘플을 표시 ④ Power Unit : 메인유니트와 표시부에 전원공급 |
| 결정사유 |
ㅇ 제9012호의 용어는“광학현미경외의 현미경과 회절기기”로 규정되어 있고
ㅇ 제9012호해설서(A)에는 전자현미경의 표준형으로 ①전자빔사용 ②전자방출과 가속장치(전자총) ③집광기, 대물경 및 투영기로 작용하는 정전식 또는 전자식의 렌즈 ④시료재물대, ⑤상을 형광스크린에 반영시켜 육안으로 관측 및 사진으로 기록하기 위한 소자 ⑥전자빔을 제어하거나 조정해주는 장치를 지지해주는 제어대 및 패널로 구성되고 ㅇ 주사전자현미경은 매우 정교한 전자의 비임이 반복적으로 시료의 여러지점에 직사되며. 정보는 전송된 전자, 방출된 보조전자 또는 광학선에 의한 계측으로 얻으며. 그 결과는 모니터스크린상에 표시되는 데 모니터스크린 현미경과 결합될 수 있고 이러한 전자현미경은 순수과학분야, 공업적분야에서 널리 사용된다”고 해설 ㅇ 본 품은 전자가속장치인 전자총을 이용하여 샘플에서 발생하는 2차 전자를 받아 샘플의 표면을 고배율로 측정하는 장치에 웨이퍼로더(wafer loader)와 전자현미경이 결합부착되어 웨이퍼 취급과 이송용으로 기능을 수행하는 전자현미경으로 HSK9012.10-1010호에 분류한다 |
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