| 참조번호 | 품목분류47281-244 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-03-21 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9026.80-9000 |
| 품명 | Flow Meter ; PF21-300-10(N²/10L) |
| 물품설명 |
ㅇ 본 물품은 반도체 제조공정중 반도체 칩과 리드프레임을 연결하는 Wire Bonding 공정에서, 리드프레임에 연결된 Gold Wire의 접촉 부분이 대기중에서 냉각되면 산화되므로 이를 방지하기 위하여, Wire Bonder를 통하여 Gold Wire의 접촉 부분에 N²가스를 공급하므로서 접촉부분의 산화방지를 위하여 사용되는 질소가스 공급장치의 관에 설치되어
ㅇ 유입되는 질소가스의 유량을 확인하며, 필요시 유량을 조절하는 물품으로, 밸브 및 유량측정기가 결합된 형태의 물품으로서 ㅇ 투명한 아크릴 수지의 중심의 관에 플로트가 있고, 아크릴 본체의 표면에는 1~10까지의 눈금이 있어, 일정한 압력(5Kgf/㎠G)으로 유입되는 질소가스의 량에 따라 움직이는 플로트와, 본체의 표면에 표시되어 있는 눈금이 일치되는 숫자(숫자 1은 1cc를 의미)로 유량을 측정하며, ㅇ 리드프레임의 종류에 따라 공급하여야 하는 질소가스의 량이 변화게 됨에 따라, 기기의 상단에 있는 밸브를 이용하여 가스의 차단 및 유량의 조절이 가능하도록 제작된 형태임. ㅇ 또한 통과하는 유체의 종류와 압력이 변하는 경우에는 플로트에 가하여 지는 힘이 달라 정확한 유량을 측정할 수 없으므로, 본 물품은 일정한 온도(20°C)하에서 일정한 압력(5Kgf/㎠G)의 질소가스의 유량만을 측정하도록 제작된 물품임. |
| 결정사유 |
ㅇ 본 물품은 일정한 온도 및 압력하에서 기기내를 흐르는 질소가스의 유량을 측정 또는 조절하는 물품이나,
ㅇ 정확한 유량을 측정해야 적정량의 질소가스를 공급할 수 있으며, 일정한 온도와 일정한 압력하에서의 질소가스의 유량만을 측정하도록 제작된 물품이며, ㅇ 기기내의 유량을 나타내는 플로트를 육안으로 확인할 수 있도록 투명한 아크릴로 본체를 제작하였으며, 정확한 유량측정을 위하여 기기내의 유체의 통로를 정밀가공 하였으며, ㅇ 수출자는 유량계를 전문적으로 제작하는 회사(Japan Special Flow Instruments Co., Ltd)이며, 또한 수출자의 카다록에도 유량계로 표시하고 있는 등 ㅇ 유량의 측정이 본 물품의 주요특성이라 할 수 있으므로 유량의 측정 및 조절이 가능한 본 물품에 대하여 유량계로 보아 HSK9026.80-9000호에 분류한다. |
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