| 참조번호 | 품목분류47281-244 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-03-21 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9031.80-9070 |
| 품명 | Instruments for detecting faults cracks or other defects ; Inspection System ; UHR2000 |
| 물품설명 | ㅇ 반도체소자의 결함상태를 검사하는 장비로 초음파발생/수신기(금도금층과 진동자로 구성), 시편대, 필요한 신호를 선별하는 Trigger System, A/D Converter로 구성된 것으로 칩이 들뜨는 현상(Delamination), 내부의 구멍(Package Void), 내부균열(Internal Crack)등 반도체소자 내부의 결함상태를 초음파방식에 의한 비파괴적 방법으로 측정하는 장비로 측정대상 표면에 초음파를 발사한 후, 시료의 계면에서 반사된 초음파를 트랜스듀서에서 초음파를 신호변환기에 의해 이미지를 형상화하여 성형된 제품의 내부 결함상태를 측정하는 장비 |
| 결정사유 |
ㅇ 본 기기는 초음파를 이용하여 반도체 부품의 들뜸(Delamination(Compound와 칩이 들뜨는 현상)), 내부의 구멍(Package void), 내부의 파손(Internal Crack) 등의 반도체소자 내부의 각종 결함상태를 검사하는 장비로, 초음파를 발생, 반사된 초음파신호를 전압으로 변환, 이를 이용하여 디지탈화된 칼라영상을 모니터에 표시하는 기기로
ㅇ 제9031호해설서(27)재료의 흠, 균열 또는 결함검출장치에는“이러한 측정은 초음파가 통과되는 매체내의 단층이 광선을 편향시키는 원리에 의한 것이다. 빔의 감쇠를 측정하거나 반사법에 의하여 결함을 측정한다”고 해설하고 있는 비파괴 검사법인 초음파를 이용하여 재료의 흠, 균열등을 측정하는 기기로 HSK 9031.80-9070호에 분류한다. |
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