| 참조번호 | 품목분류47281-244 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-03-21 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9032.89-9090 |
| 품명 | Automatic regulating or controlling instruments and apparatus ; GAS PANELS ; IGS GAS SYSTEM WITH Air Operate Valve 14, Manual Valve 13, Needle Valve 4, Mass Flow Controller 4, Filter 1, Pressure Transduce 1, Heating Line |
| 물품설명 |
ㅇ 밸브[Air operate valve(전기적신호에 의하여 정해진 값 만큼 가스의 유량을 자동으로 개폐), manual valve(반응후 남은 반응가스를 제거하기 위한 밸브로 수동으로 개폐), needle valve(반응 또는 캐리어가스를 정량공급하기 위한 밸브로 수동으로 개폐) ] 등으로 조합된 판넬형태의 물품으로 반도체제조장비중 ALD장비의 막성장공정상에서 특정의 반응가스가 일정하게 쳄버속에 투입되도록 하는 기기로
ㅇ 가스의 적정량을 장비전체의 중앙제어에 의해 공급할 수 있도록 제작된 장비로, 중앙제어에 의해 가스의 공급을 일정하게 조절하는 기능의 기기로서 PC S/W에 의한 제어방식으로 작동되며, air operate valve 14개[PC소프트웨어에서 신호를 보내고 전자 박스에 있는 보드에서 그 신호에 따라 솔레노이드를 발생시켜 air를 밸브 상단에 투입하게 되면 개, 폐 작업을 함], manual valve 13개[작업자의 손(hand)으로 조절하여 작동하는 방식으로 IGS GAS SYSTEM을 수리 또는 Cleaning할 때 밸브가 Close 되어 내부오염을 방지], needle valve 4개[작업자의 손(hand)으로 밸브 눈금을 읽어 작동시키는 방식으로 반응가스를 손에 의해 맞추어 놓은 값만큼 흐르도록 조절], Mass flow controller 4개[특정가스의 유량을 제어하는 물품으로 유량센서, Bypass, 밸브, 전기회로(브리지회로,증폭회로,보정회로,비교제어회로,밸브구동회로)로 구성], filter 1개[쳄버내에서 프로세스를 하기 위해서 고순도인 99%이상을 유지하기 위해 파티클을 제거하기 위해 사용], Gas Line별 Heating Line[가스가 지나가는 라인과 밸브등 모든 파트의 온도를 일정한 온도로 쳄버에 가까워질수록 상승(35。～150。C)시켜 가스라인의 표면에 가스가 응축되는 현상을 예방]이 장착되어 있음 |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표해석에 관한 통칙1은 법적인 목적상의 품목분류는 관련부류의 주 또는 호의 용어로 결정한다고 규정하고 있고
ㅇ 제90류주6(적용당시 제90류주 적용규정)은 제9032호는 다음물품에 한하여 적용한다고 규정 가.액체 또는 기체의 유량, 깊이, 압력 또는 기타 변량의 자동제어용 기기 또는 온도의 자동제어용기기(자동제어하여야 할 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 의하여 작동하는 것인지의 여부를 불문한다)” ㅇ 본 기기는 반도체제조공정상 특정가스의 유량을 제어하는 것으로, 제8481호의 밸브의 분류와 관련 밸브는 개폐구를 열거나 닫음으로써 흐름을 조정하는 기기이나, ㅇ ①입력되는 가스의 양을 검출하기 위한 유량센서, ②외부에서 입력된 설정전압신호와 비교하는 전기회로(비교제어회로), ③유량의 흐름을 조정하는 밸브로 구성된 MFC와 air operate valve, manual valve, needle valve로 구성된 물품으로 검출단(센싱장치), 조절부, 조작단으로 구성된 기기로 이는 제9032호해설서에서 해설하고 있는 자동조절용기기의 요건을 충족하는 기기임 ㅇ 소호분류와 관련 제9032.81소호는 액압식 또는 공압식의 자동조절용 또는 자동제어용기기가 분류되며, 제9032.89호는 기타의 기기가 분류 ㅇ 이러한 소호의 분류는 조작신호에 의하여 전기식, 공기식, 유압식, 자력식으로 분류 ㅇ 본 기기는 유량센서에 의해 질량유량에 비례한 온도변화를 포착하여 브리지회로에서 전기신호로 변환하고, 변환된 유량신호는 비교제어회로에서 설정출력신호의 차로 밸브를 구동시키는 방식으로 ㅇ 이는 제9032.8호에서 정하는 액압식 또는 공기식의 방식이 아닌 기기로 HSK9032.89-9090호에 분류한다. ※제2001년제10회 품목분류실무위원회의 결정사항은 관세법제87조제1항 및 제2항에 의하여 별도로 변경고시한다. |
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