| 참조번호 | 품목분류47281-244 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-03-21 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9032.89-9090 |
| 품명 | Automatic regulating or controlling instruments and apparatus ; MFC ; Mass Flow Controller(M8160) With Solenoid Type Valve |
| 물품설명 |
ㅇ Etching장비에서 플라스마 발광에 필요한 기본 Source로 가스가 필요하며, 가스는 플라스마내에서 케미칼 성분으로 변환되어 식각하려는 막을 깍아낼 때, 이온스퍼터와 같이 중요한 요소로 주어지게 됨. 가스의 미묘한 차이에 의해 Etch량이 크게 좌우되므로 가스의 정밀한 조절이 필요하게 되어 MFC라는 유량조절장치를 사용
ㅇ MFC는 일정유량을 MFC에 흘리면 배기라인쪽에 PCV (Pressure Control Valve)가 배기량을 조절하여 쳄버내의 압력을 일정하게 맞춰주는 형식으로 운용되며 유량센서, Bypass, Valve 및 전기회로로 구성 1)유량센서 : 입력되는 가스의 양을 검출하기 위한 센서로 Bypass쪽으로 흐르는 가스량과 일정한 비율로 흐르며, 그 흐름을 브리지회로에서 전기신호로 검출 2)Bypass : 유량센서는 Bypass에 분류된 후의 극히 일부유량을 측정하며 Bypass와의 분류비가 온도와 압력등의 외적요인에 관계없이, 항상 일정하지 않으면 측정오차를 유발 3)Valve : 밸브의 구동기구에는 piezo, thermal, solenoid의 3가지 방식 ①piezo valve : 적층피에조 소자에 공급되는 전압에 의해 뒤틀리는 성질을 이용하여 metal diaphram valve를 구동 ②thermal valve : 열팽창을 이용 밸브를 구동 ③solenoid valve : 전자력을 이용하여 밸브를 구동(질의물품에 해당) 4)전기회로 ①브리지회로 : 유량센서에서 검출된 온도변화를 전기신호로 변환 ②증폭회로 : 브리지회로에서 변환된 전기신호를 증폭 ③보정회로 : 증폭된 전기신호를 0～5[V]의 Linear전압신호로 변환하여 비교제어회로 및 외부에 출력 ④비교제어회로 : 외부에서 입력된 유량설정 전압신호(0～5V와 보정회로에서의 0～5V Linear전압과 비교한 후, 필요에 따라 밸브구동회로를 구동 ⑤밸브구동회로 : 설정, 출력신호의 차가 제로가 되도록 밸브를 On, Off |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표해석에 관한 통칙1은 법적인 목적상의 품목분류는 관련부류의 주 또는 호의 용어로 결정한다고 규정하고 있고
ㅇ 제90류주6은 제9032호는 다음물품에 한하여 적용한다고 규정 가.액체 또는 기체의 유량, 깊이, 압력 또는 기타 변량의 자동제어용 기기 또는 온도의 자동제어용기기(자동제어하여야 할 요소에 따라 변화하는 전기적 현상에 의하여 작동하는 것인지의 여부를 불문한다)” ㅇ 본 기기는 반도체제조공정상 특정가스의 유량을 제어하는 물품으로, 제8481호의 밸브의 분류와 관련 밸브는 개폐구를 열거나 닫음으로써 흐름을 조정하는 기기이나, ㅇ ①입력되는 가스의 양을 검출하기 위한 유량센서, ②외부에서 입력된 설정전압신호와 비교하는 전기회로(비교제어회로), ③유량의 흐름을 조정하는 밸브로 구성된 기기로 이는 제9032호해설서에서 해설하고 있는 자동조절용기기의 요건을 충족하는 물품으로 ㅇ 소호분류와 관련 제9032.81소호는 액압식 또는 공압식의 자동조절용 또는 자동제어용기기가 분류되며, 제9032.89호는 기타의 기기가 분류 ㅇ 이러한 소호의 분류는 조작신호에 의하여 전기식, 공기식, 유압식, 자력식으로 분류 ㅇ 본 기기는 유량센서에 의해 질량유량에 비례한 온도변화를 포착하여 브리지회로에서 전기신호로 변환하고, 변환된 유량신호는 비교제어회로에서 설정 출력신호의 차로 밸브를 구동시키는 솔레노이드 방식의 기기로 HSK9032.89-9090호에 분류한다. ※평가분류 47281-7410(2001.12.26)호로 회신한 MFC의 품목분류 HSK9032.81-2091호는 관세법제87조제1항 및 제2항에 의하여 변경고시하도록 한다. |
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