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품목분류사례 상세결과

상세결과 항목 : 참조번호, 시행일자, 시행기관, 결정세번, 품명, 물품설명, 결정사유, 이미지건수, 관련 이미지

참조번호 품목분류47281-958
시행일자 2002-10-25
시행기관 관세청
결정세번 9027.80-1000
품명 Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometer ;
Perkin Elmer ICP-MS Elan 9000
물품설명 기능
미량의 무기원소 분석을 위해 액체상태의 시료를 분무시켜 플라즈마 생성장치로 도입하여 원자화를 거쳐 이온화하고 질량분석장치로 도입한 후 이온들을 질량대 하전비(m/e)로 분리하여 전자증배관으로 분석대상 물질을 증폭하여 극미량의 농도를 검출하는 기기임
용도
- 반도체 분야의 공정상 용매 불순물 확인
- wafer 표면 분석
- 환경분야의 음용수, 빗물, 강물, 바닷물, 침전물, 폐수에 포함된 미량의 무기원소 분석
- 원자력발전소의 터빈 냉각수 및 핵연료 분석
- 중금속분석(식품분야, 농업분야, 인체·동물, 광물 등)
주요 내부 구성요소 및 기능
다음과 같은 구성요소가 동일 캐비닛에 일체구조로 장치됨
① 시료도입장치(spray chamber & nebulizer)
액체 상태의 시료를 분무시켜 운반기체와 함께 플라즈마 생성장치로 도입
② 플라즈마 생성장치(torch & RF coil)
40MHz의 RF에 의한 유도코일 주변의 자기장과 Torch를 통해 흐르는 아르곤 가스 사이에서 고온의 플라즈마가 형성되고, 운반기체에 의해 이동된 분무상태의 시료는 플라즈마에 의해 원자화를 거쳐 이온화됨
③ 인터페이스 장치(sample cone & skimmer cone)
이온화된 시료는 sample cone과 skimmer cone의 작은구멍(인터페이스)을 통과하여 질량분석장치 내부로 도입
④ 질량분석장치(Quadrupole & Autolense)
인터페이스에서 도입된 이온들을 질량대 하전비로 분리
⑤ 검출기(Electron Multiplier)
mass filter(quadrupole)를 통해 분리된 분석대상 물질을 증폭하여 극미량의 농도 검출
결정사유 제9027호 해설서에서 재료의 질량분석기(Mass Spectrometer)를 예시하고 있는 바,
- 「질량분석이란 여러방법으로 이온화한 화합물을 질량/전하수(m/e)에 따라 분리한 후 검출, 기록하여 화합물의 분자량 및 구조에 관한 정보를 얻는 분석방법」을 말하는 것으로 동 물품도 플라즈마로 시료를 이온화 하여 사중극자(quadrupole)등으로 질량대 하전비로 분리하여 분상대상 물질을 검출하는 질량분석장비이므로 제9027호의 물품에 해당됨
제9027호중에서는
- 제9027.30소호에 분광계(Spectrometer)가 분류되나, 동 물품은 빛의 스펙트러를 이용하는 것이 아니라 이온이 지니는 질량차를 이용하는 장치로 분광계와는 상이하며
- 액체를 대상으로 하고, 자외선·가시광선·적외선의 광선을 사용하는 것이 아니므로 제9027.80소호에 분류되는 물품임
제9027.80-1000호에는 기타의 물리 또는 화학분석용 기기가 분류되는 바,
- 물리 또는 화학분석이란 관련자료에 의거 살펴볼 때 물리 또는 화학적인 방법에 의해 물질의 성분을 동정(同定)하는 정성분석(定性分析)과 시료에 포함된 목적성분의 함유량을 결정하거나 구성성분의 양적인 비율을 결정하는 정량분석, 미지물질의 화학구조를 분석하는 구조분석을 말하는 것으로,
- 동 물품은 이온이 지니는 m/e(m은 질량, e는 전하)의 차에 따른 질량스펙트럼을 이용 정성분석하고 이온의 세기를 측정하여 정량분석하는 것이므로 기타의 물리 또는 화학분석용기기가 분류되는 HSK9027.80-1000호에 분류한다.
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