| 참조번호 | 품목분류47281-446 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-05-22 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8543.19-0000 |
| 품명 | ACCELERATOR MODULE ; KIT, PM, FIELD, ACCEL, 650,1520 ; 4524301(1500,1510;E11095430) |
| 물품설명 |
□ 물품의 용도
ㅇ Accelerator Module은 이온을 가속시키는 기능을 수행하는 물품으로서 이온주입기의 구성장비임. □ 주요 구성요소 및 기능 ㅇ Accelerator Column Ion beam을 실제로 가속시키는 곳으로서 650~750Kev의 에너지를 가해 Stripper Ar Gas와의 물리적인 충돌을 야기 시켜 (-)이온이 (+)이온으로 바뀌면서 에너지를 얻게 하여 가속시키는 기능 ㅇ Power Supply 650~750Kev의 에너지를 Accelerator Column에 공급하는 기능 ㅇ Lens, low energy Ion Beam의 방향을 결정하는 기능 ㅇ Lens, high energy 가속되어 분산된 Ion beam을 focusing하는 기능 |
| 결정사유 |
ㅇ 이온주입기는 크게 이온을 발생시키는 Terminal(Source) Module, 이온을 가속시키는 Accelerator Module, 이온이 최종적으로 Wafer에 주입되는 End Station Module등으로 구성된 기계로서,
ㅇ 이온주입기를 구성하는 각각의 기계(기기)들이 별도로 제시되는 경우에는 관세율표해석에관한통칙 1의 규정에 따라 동기계들이 게기되어 있는 각각의 호에 분류하여야 함. ㅇ 한편, 본 건 Accelerator Module이 이온(입자) 발생부분은 갖추고 있지 않으나 Accelerator Column 및 Power Supply 등을 갖추고 있어 그 자체로서 입자에 높은 에너지를 주기 위한 입자 가속기로서의 본질적인 특성을 지닌 물품이므로 관세율표해석에 관한통칙 2의 가 규정에 따라 기타의 입자 가속기가 게기되어 있는 HSK 제8543.19-0000호에 분류함. |
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