| 참조번호 | 품목분류47281-369 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-04-25 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 8421.39-9020 8543.89-9090 |
| 품명 | Filtering or Purifying machinery and apparatus for gases ; Air shower Ionizer ; Model 4190 |
| 물품설명 |
ㅇ 반도체프로세스 공정에 들어가는 공기중의 이온을 중성화시켜 웨이퍼가 양 또는 음이온으로 전하되는(charging)것을 막아주는 기기로 작동원리는 내부에 장치된 양극과 음극에서 이온농도를 감지하여 중성화시켜 주는 물품임
< 주요사양 > 1) Physical ① Case : Polyethylene, medium density ; natural color ② Size : 73mm dia ×47mm tall, nominal 90grams ③ Weight : 90grams 2) Electrical ① Input connection : Two 18AWG×200mm-long leads ② Input Voltage : 220VAC, 60HZ ③ Power : less than 1.5w ④ Emitter points : 0.020dia. Tungsten alloy wire, two provided Non-replaceable 3) Performance : Less than 5 second Discharge(+/-1000v to 100v) |
| 결정사유 |
ㅇ 관세율표해석에관한통칙1은 법적인 목적상의 품목분류는 관련부류의 주 또는 호의 용어로 결정한다고 규정
ㅇ 본 품과 관련 제8421호의 용어는 액체나 기체용의 여과 또는 청정기가 관련 호의 용어로 ㅇ 제8421호해설서(Ⅱ)에는 모든 형(물리식·화학식·기계식·자석식·전자식·정전식등)의 여과기 및 청정기도 포함된다고 해설하고 있고 ㅇ 같은 해설서(B)기체용의 여과기와 청정기에는“이 기체용의 여과기와 청정기는 기체로 부터 고체상 및 액체상의 입자를 분리하는 데 사용되며 유가물을 회수하거나 유해한 물질을 제거하는 데 사용된다(예 : 가스 또는 연무로 부터의 먼지와 타르 등의 제거 기타 증기기관의 증기로부터의 기름의 제거))”로 해설하고 있으며 이러한 기기의 종류로 정전식필터를 해설하고 있으며, ㅇ 공학상으로는 기체중에 포함된 고체 또는 액체중의 입자를 분리할 때 사용하는 집진방법으로 ① 가스중에 포함된 입자를 중력에 의한 자연침강에 의해 분리포집하는 중력집진장치(gravitational dust collector), - ② 함진가스를 각종 장해물에 충돌시키거나 함진가스류의 급격한 방향전환을 하여 입자를 관성력을 이용해서 분리포집하는 관성력집진장치(inertial dust collector), - ③ 함진가스에 선회운동을 주어 주로 입자에 작용하는 원심력에 의해서 가스중에서 입자를 분리포집하는 원심력집진장치(centrifugal dust collector), - ④ 세정액 또는 함진가스를 분한함으로서 생성된 수적, 수막, 기포 등으로 함진가스중의 입자를 포집하는 세정집진장치(scrubbing dust collector), - ⑤ 비교적 얇은 여포의 표면으로 더스트를 분리포집하는 여과집진장치(filter dust collector), ⑥ 코로나방전 현상을 이용한, 즉 +전하와 - 전하사이의 정전력을 이용해서 집진하는-정전력을 이용하여 입자를 집진하는 전기집진장치(electrostatic precipitator)등으로 구별 ㅇ 본 품은 코로나 방전에 의하여 반도체프로세스로 들어가는 공기중의 파티클을 이온중성화시켜 웨이퍼가 양 또는 음이온으로 전하되는 것을 방지하기 위한 장비로 기체용의 여과기와 청정기에 해당하는 기기로 반도체제조용으로 사용되는 경우에는 HSK8421.39-9020호로 기타의 용도로 사용되는 경우에는 HSK 8421.39-9090호에 분류한다. ※용도세율 별표1의 가 대상물품임 |
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