| 참조번호 | 품목분류47281-369 |
|---|---|
| 시행일자 | 2002-04-25 |
| 시행기관 | 관세청 |
| 결정세번 | 9027.10-0000 |
| 품명 | Gas or smoke analysis apparatus ; Aerosol Manifold and Laser based Airbone Particle Counter for Semiconductor ; ①Particle Probe(Model A2432), ②Particle Counter(Model 2432 or 2200), ③ Aerosol Manifold |
| 물품설명 | ㅇ 반도체생산라인의 생산설비, 웨이퍼 및 칩의 파티클 오염정도를 연속측정하기 위해 만들어진 것으로 생산장비내 또는 웨이퍼 부근에 설치하여 웨이퍼 표면으로 들어가는 파티클의 오염정도를 측정하는 기기로 레이저를 방사하여 산란광의 세기로부터 입자의 크기를 계수하기 위하여 사용되는 기기로 Aerosol Manifold는 한 파티클 카운터를 파티클 센서가 있는 것처럼 제어시켜 주는 장비이며, Particle Counter는 시스템구성을 위해 선택되는(교체될 수 있는)부속설비임 |
| 결정사유 |
ㅇ 파티클을 감지하는 센서인 Paricle Probe와 Aerosol Manifold Particle Counter는 공기중 파티클의 크기를 측정하는 기기를 구성하는 기기로
ㅇ 제90류주3은 제16부주4를 준용하도록 규정하고 있고 제16부주4는 하나의 기계가 각종의 개별기기로 구성되어 있는 경우에도(따로 분리되어 있거나 상호연결되어 있는 것인지의 여부를 불문) 이들이 명백히 어느 호에 명백하게 규정된 기능을 함께 수행하기 위한 것일 때에는 그 전부를 그 기능에 따라 해당하는 호에 분류한다고 규정 ㅇ 본 품은 공기중의 파티클을 측정하기 위해 구성된 기기로 그 기능 전체는 제9027호의 가스 또는 매연분석을 위하여 시스템을 구성하는 기기로 HSK9027.10-0000호에 분류한다. |
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